半导体指标离子测试

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.碱金属离子分析：锂离子浓度，钠离子浓度，钾离子浓度，铵根离子浓度。

2.碱土金属离子分析：镁离子浓度，钙离子浓度，锶离子浓度，钡离子浓度。

3.重金属离子分析：铁离子浓度，铜离子浓度，镍离子浓度，铬离子浓度，锌离子浓度，铝离子浓度。

4.卤素离子分析：氟离子浓度，氯离子浓度，溴离子浓度。

5.阴离子杂质分析：硝酸根离子浓度，硫酸根离子浓度，磷酸根离子浓度。

6.晶圆表面萃取离子分析：表面可移动离子电荷密度，表面金属污染物总量。

7.高纯化学试剂离子浓度：过氧化氢中阴离子含量，硫酸中金属杂质含量，氢氟酸中颗粒与离子综合污染度。

8.超纯水水质离子监测：水中总有机碳含量，水中溶解性阴离子含量，水中痕量金属元素含量。

9.工艺气体杂质离子分析：氮气中氧含量，氩气中水分，氢气中烃类化合物含量。

10.光刻胶及相关材料离子检测：光刻胶中金属杂质，显影液中阴离子残留，剥离剂中离子污染物。

11.化学机械抛光液离子分析：研磨颗粒表面金属离子溶出量，抛光液中稳定剂与氧化剂离子浓度。

12.封装材料离子含量测试：模塑料中氯离子含量，环氧树脂固化剂中离子杂质，键合线表面洁净度。

检测范围

硅抛光片、外延片、绝缘体上硅晶圆、砷化镓晶圆、光掩模版、光刻胶、显影液、蚀刻液、清洗液、化学机械抛光液、高纯过氧化氢、高纯硫酸、高纯氢氟酸、高纯氨水、超高纯氮气、超高纯氩气、超高纯氢气、环氧模塑料、焊球、键合金线、陶瓷封装外壳

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：用于超痕量级金属及多元素离子的定性定量分析；具备极高的灵敏度与极低的检测限，可进行同位素比值测定。

2.离子色谱仪：用于分离和检测样品中的阴离子、阳离子及有机酸；采用电导检测器，适用于高纯水及化学品中痕量离子分析。

3.气相色谱-质谱联用仪：用于分析工艺气体及挥发性液体中的有机与无机杂质；可对复杂基质中的微量组分进行定性与定量。

4.总有机碳分析仪：专用于测定超纯水及水溶液中的总有机碳含量；通过高温催化氧化法将有机碳转化为二氧化碳进行检测。

5.微波消解系统：用于固态样品的前处理，在高温高压下利用酸溶液将样品完全溶解；确保待测离子完全溶出且避免污染。

6.超纯水制备系统：提供检测过程中所需的超低离子残留的实验用水；通常整合反渗透、离子交换与超滤等多种纯化技术。

7.洁净工作台：为样品前处理及转移提供局部洁净环境；有效防止环境空气中的颗粒与离子污染物干扰测试结果。

8.恒温恒湿称量室：为微量样品的精确称量提供稳定的温湿度环境；减少因环境波动引起的称量误差与样品吸潮。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器资质