球差电镜摘要:球差电镜(Spherical Aberration Corrected TEM)是一种通过校正透镜球面像差实现原子级分辨率的高端透射电子显微镜技术。其核心检测要点包括样品制备规范性、电子光学系统校准精度、图像采集参数优化及数据处理可靠性等,适用于纳米材料、半导体器件等微观结构的形貌、成分及缺陷分析。
参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
1.点分辨率测试:基准值≤0.08nm(200kV加速电压)
2.信息极限测定:典型值≤0.05nm(单色器开启状态)
3.像散校正量:残余像散≤5nm(明场像模式)
4.能量分辨率:≤0.3eV(EELS谱仪配置)
5.束流稳定性:波动率≤0.2%/h(连续工作模式)
1.纳米材料:金属/氧化物纳米颗粒(1-100nm)、二维材料(石墨烯/MoS₂)
2.半导体器件:FinFET结构、量子阱异质结
3.催化剂材料:负载型金属催化剂(Pt/C,Pd/Al₂O₃)
4.金属合金:高熵合金晶界结构、析出相成分
5.生物样品:冷冻固定蛋白质复合体(需配备低温样品杆)
1.ASTME3060-16:透射电镜图像分辨率测定规程
2.ISO16700:2016:微束分析-电子探针-能谱定量分析通则
3.GB/T30544.5-2019:纳米科技术语第5部分:纳米/亚纳米尺度测量
4.ISO21363:2020:纳米技术-透射电子显微镜颗粒尺寸分布测定
5.GB/T36065-2018:纳米材料表征用透射电子显微镜测量方法指南
1.ThermoFisherTitanThemisZ:配备单色器与双球差校正器,信息极限0.05nm
2.JEOLARM300F:冷场发射枪配置,STEM分辨率0.078nm
3.HitachiHF5000:六极球差校正系统,支持4D-STEM技术
4.NionUltraSTEM200:超高真空设计(≤510⁻⁸Pa),配备GIF量子能谱仪
5.FEITalosF200X:SuperXEDS系统(4个SDD探测器),Dual-X能量过滤器
6.ZeissLibra200MC:单色场发射源,单原子灵敏度能谱分析
7.JEOLJEM-ARM200FNEO:原子级元素面分布分析(原子探针模式)
8.ThermoFisherSpectra300:单色器+球差校正复合系统,支持in-situ实验
9.HitachiHD-2700:专用STEM模式(暗场分辨率0.09nm)
10.FEITecnaiOsiris:ChemiSTEM技术(X-FEG电子枪+4个Super-X探测器
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
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