干涉球检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.表面粗糙度：Ra≤0.8nm（局部区域），Rz≤5nm（全域扫描）

2.曲率半径误差：0.05%（直径＞100mm），0.02%（直径≤100mm）

3.面形精度：PV值≤λ/10（@632.8nm），RMS≤λ/50

4.材料均匀性：折射率偏差＜510⁻⁶（全口径扫描）

5.透射波前误差：WFE＜0.15λ（Φ50mm通光孔径）

检测范围

1.光学玻璃：包括熔石英、BK7、SF11等牌号的透镜与棱镜

2.晶体材料：氟化钙（CaF₂）、硅（Si）、锗（Ge）等红外光学元件

3.聚合物材料：PMMA、PC材质的非球面镜片

4.金属反射镜：铝合金、铍铜合金基底的离轴抛物面镜

5.复合涂层材料：多层介质膜/金属膜的光学镀膜元件

检测方法

1.ASTME903-20：采用积分球法测定光谱反射率与透射率

2.ISO10110-5:2015：规定光学元件表面缺陷的量化评价标准

3.GB/T1800.3-2020：几何公差标注与测量基准建立规范

4.ISO14997:2012：光学表面缺陷的微分干涉对比法检测

5.GB/T7661-2009：光学零件面形误差的斐索干涉测量法

检测设备

1.ZygoVerifireHDX激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm，最大测量口径Φ600mm

2.MitutoyoSURFTESTSJ-410表面粗糙度仪：横向分辨率0.01μm，Z轴量程800μm

3.TriopticsOptiSphericIRL红外干涉仪：工作波段3-12μm，曲率半径测量范围5-5000mm

4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm，最大扫描区域1010mm

5.4DTechnologyPhaseCam6000动态干涉仪：抗振能力＞50Hz，采样速率5000帧/秒

6.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：Z轴精度0.75nm，接触力0.1-50mN可调

7.SCHOTTK8折射率测试系统：测量精度210⁻⁶，温度控制0.01℃

8.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm，Z轴重复性1nm

9.Keysight5500原子力显微镜：扫描范围9090μm，Z分辨率0.1nm

10.OptoTechASM700非接触测厚仪：厚度测量范围0-300mm，精度0.1μm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质