碲板材半导体特性检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

电学性能检测：

• 电阻率测量：范围1E-6~1E3 Ω·cm（参照SEMI MF84）
• 霍尔效应分析：载流子浓度≥1E15 cm⁻³、霍尔迁移率≥100 cm²/V·s
• IV特性测试：击穿电压≥100 V、漏电流≤1E-9 A

• 热导率测定：范围0.1~100 W/m·K（参照ASTM E1461）
• 热电系数分析：塞贝克系数≥200 μV/K
• 热膨胀系数测量：CTE≤5 ppm/K

• 禁带宽度测试：Eg值1.0~2.0 eV（参照ISO 13468）
• 吸收光谱分析：峰值波长300~2000 nm
• 发光效率评估：量子效率≥80%

• 晶格常数测量：误差±0.01 Å（参照ASTM D5384）
• 晶体取向分析：偏移角≤0.5°
• 表面粗糙度检测：Ra≤10 nm

• 元素纯度分析：碲含量≥99.999%（参照GB/T 12690）
• 掺杂浓度测试：硼掺杂偏差±0.01 wt%
• 杂质含量评估：重金属≤1 ppm

• 硬度测试：维氏硬度≥100 HV
• 抗弯强度测量：强度≥50 MPa
• 弹性模量分析：范围50~200 GPa

• 接触角测量：亲水性≤30°
• 表面能计算：范围30~70 mJ/m²
• 氧化层厚度检测：≤10 nm

• 位错密度分析：≤1E4 cm⁻²
• 孔洞缺陷评估：尺寸≤1 μm
• 裂纹检测：长度≤100 μm

• 载流子扩散系数：≥1 cm²/s
• 杂质扩散速率：≤1E-10 cm²/s
• 界面扩散分析：厚度均匀性±5%

• 高温老化试验：寿命≥1000小时
• 循环热冲击测试：循环次数≥500次
• 湿度耐性评估：RH=85%下失效阈值

检测范围

1. 单晶碲板材： 高纯度碲单晶，重点检测晶体缺陷密度和电学均匀性。

2. 多晶碲板材： 多晶结构板材，侧重晶界电阻率和热稳定性评估。

3. 硼掺杂碲板材： P型半导体材料，核心检测掺杂浓度精度和载流子迁移率。

4. 砷掺杂碲板材： N型半导体变体，重点分析杂质分布和禁带宽度偏移。

5. 碲化镉复合板材： CdTe基材料，检测光电转换效率和界面结合强度。

6. 碲化铅板材： PbTe基高温材料，侧重热电系数和热导率平衡测试。

7. 纳米晶碲板材： 纳米结构材料，检测量子尺寸效应和表面能变化。

8. 薄膜碲板材： 沉积薄膜型，重点评估厚度均匀性和附着性。

9. 复合碲板材： 聚合物基复合材料，检测界面扩散和机械耐久性。

10. 高温应用碲板材： 高温环境材料，侧重热膨胀系数和老化性能测试。

检测方法

国际标准：

• SEMI MF84-2020 半导体材料电阻率测量
• ASTM E1461-2021 激光闪光法热导率测试
• ISO 13468-2022 光学材料透射率测定
• IEC 60749-2021 半导体器件环境试验

• GB/T 12690-2020 高纯金属化学分析方法
• GB/T 1551-2021 半导体材料霍尔系数测定
• GB/T 14264-2021 半导体晶体缺陷检测
• GB/T 17394-2022 金属材料硬度试验

检测设备

1. 四探针电阻率测试仪： KEITHLEY 2450型（测量范围1E-6~1E5 Ω·cm，精度±0.1%）

2. 霍尔效应测试系统： LAKESHORE 7707A型（磁场强度0-2T，温度范围77-500K）

3. 激光闪光导热仪： NETZSCH LFA467型（热导率精度±1%，温度范围-150~500°C）

4. 紫外可见分光光度计： PERKINELMER Lambda1050型（波长范围190~3300nm，分辨率0.1nm）

5. 扫描电子显微镜： ZEISS GeminiSEM500型（分辨率0.8nm，加速电压0.1-30kV）

6. X射线衍射仪： BRUKER D8 ADVANCE型（角度精度±0.0001°，布拉格角范围5-90°）

7. 原子力显微镜： BRUKER DimensionIcon型（扫描尺寸100μm，垂直分辨率0.01nm）

8. 傅里叶变换红外光谱仪： THERMO Nicolet iS50型（波数范围7800~350cm⁻¹，信噪比30000:1）

9. 热分析仪： TA Instruments SDT650型（DSC精度±0.1μW，温度范围-180~1500°C）

10. 表面轮廓仪： BRUKER DektakXT型（垂直分辨率0.01Å，扫描速度10mm/s）

11. 机械测试机： INSTRON 5967型（载荷范围0.01-100kN，应变速率0.0001-1000mm/min）

12. 高温老化箱： ESPEC SH-241型（温度范围-70~180°C，湿度控制10-98%RH）

13. 光学显微镜： OLYMPUS BX53M型（放大倍数50-1000X，数字成像分辨率5MP）

14. 离子溅射仪： GATAN PECS II型（溅射速率0.1-10nm/min，真空度≤1E-6 Torr）

15. 载流子寿命测试仪： SINTON WCT-120型（寿命范围1ns-10ms，精度±5%）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质