高纯硅检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

物理性能检测：

• 密度测定：3.23g/cm³（参照ISO1183）
• 硬度测试：维氏硬度≥1000HV（GB/T4340.1）
• 热膨胀系数：2.6×10⁻⁶/K（ASTME228）

• 主元素分析：硅含量≥99.9999wt%（GB/T24582）
• 氧碳含量：氧≤1ppm、碳≤0.1ppm（ISO15349）

• 金属杂质：铁≤0.01ppb、铝≤0.05ppb（ASTMF1724）
• 有机杂质：总烃类≤0.1ppm（参照SEMIMF1726）

• 电阻率：0.001-1000Ω·cm（±0.5%）（GB/T1551）
• 载流子浓度：1×10¹⁰-1×10²⁰cm⁻³（ASTMF723）

• 透光率：≥90%@633nm（ISO13468）
• 反射率：≤10%（ASTME903）

• 粗糙度：Ra≤0.1μm（ISO4287）
• 缺陷密度：微裂纹≤5/cm²（SEMIM7）

• 晶格常数：5.43Å（±0.001Å）（ISO20203）
• 晶体取向：<100>偏差≤0.5°（GB/T12966）

• 总杂质含量：≤1ppb（ASTMF1392）
• 硼磷浓度：硼≤0.01ppb、磷≤0.02ppb（ISO14706）

• 热导率：150W/m·K（ASTME1461）
• 熔点测定：1414°C（±1°C）（GB/T14235）

• 抗弯强度：≥100MPa（ISO14704）
• 断裂韧性：KIC≥1.0MPa·m¹/²（ASTME399）

检测范围

1.单晶硅：用于半导体晶圆，检测晶格缺陷及电阻率均匀性

2.多晶硅：光伏材料，侧重杂质分布及电学性能一致性

3.硅片：切割后产品，重点检测表面完整性及厚度公差

4.硅粉：粉末形态，检测粒径分布（D50=10-100μm）及污染物残留

5.硅锭：铸造块体，检测内部气泡缺陷及热应力裂纹

6.太阳能级硅：光伏应用材料，关注光生载流子寿命≥100μs

7.电子级硅：集成电路基材，检测微污染（重金属≤0.1ppb）

8.掺杂硅：含硼/磷掺杂剂，检测掺杂浓度精度（±0.001%）

9.硅薄膜：涂层材料，厚度均匀性（±5nm）及附着强度

10.回收硅：再生材料，重金属残留（如铅≤0.05ppm）及有机杂质清除率

检测方法

国际标准：

• ASTMF1724-18硅中金属杂质电感耦合等离子体质谱法
• ISO14644-1:2015洁净室悬浮粒子浓度测试
• SEMIMF1726-1109硅有机污染物气相色谱分析

• GB/T24582-2009多晶硅化学分析方法
• GB/T1551-2021半导体硅单晶电阻率测试
• GB/T12966-2008硅晶体X射线衍射定向方法

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：型号ICP-MS-7900（检测限0.001ppb，分辨率0.1amu）

2.傅里叶变换红外光谱仪：型号FTIR-NEXUS（波数范围400-4000cm⁻¹，精度±0.01cm⁻¹）

3.扫描电子显微镜：型号SEM-SU8000（分辨率1nm，加速电压0.5-30kV）

4.原子力显微镜：型号AFM-Dimension（扫描范围100μm×100μm，Z轴分辨率0.1nm）

5.四探针测试仪：型号Pro4-400（电阻率范围0.001-1000Ω·cm，精度±0.2%）

6.X射线衍射仪：型号XRD-D8（角度范围5-90°，精度±0.0001°）

7.气相色谱-质谱联用仪：型号GC-MS-7890（检测限0.01ppm，柱温范围40-450°C）

8.激光粒度分析仪：型号LA-950（粒径范围0.01-3000μm，精度±1%）

9.差示扫描量热仪：型号DSC-850（温度范围-150-600°C，灵敏度0.1μW）

10.表面轮廓仪：型号Profilometer-P7（粗糙度测量Ra0.001-100μm，精度±0.5%）

11.紫外-可见分光光度计：型号UV-2600（波长范围190-900nm，带宽0.1nm）

12.热导率测定仪：型号TC-3000（测量范围0.1-500W/m·K，误差±1%）

13.力学试验机：型号UTM-600（载荷0.01-100kN，应变速率0.001-500mm/min）

14.霍尔效应测试系统：型号HMS-5000（载流子浓度10⁹-10²¹cm⁻³，磁场范围0-1.5T）

15.洁净度粒子计数器：型号PC-200（粒径通道0.1-10μm，流量28.3L/min）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质