干涉带参比检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.表面平整度偏差：测量范围0.1λ（λ=632.8nm），分辨率0.001λ；
2.膜层厚度均匀性：测量精度0.5nm（厚度范围50-5000nm）；
3.波前畸变分析：PV值≤λ/20（@632.8nm）；
4.折射率分布测定：精度0.0005（波长范围400-1100nm）；
5.缺陷密度统计：可识别≥0.3μm的划痕或颗粒缺陷。

检测范围

1.光学玻璃基板：包括熔融石英、BK7玻璃等精密光学元件；
2.半导体晶圆：硅片、砷化镓等衬底表面形貌分析；
3.聚合物薄膜：PET、PI等柔性显示基材的厚度均匀性检测；
4.金属镀层：铝、银反射膜的膜厚一致性验证；
5.陶瓷基板：氮化铝、氧化锆等高温器件的表面粗糙度评估。

检测方法

1.ASTMF1048-18：采用菲索干涉法进行表面形貌定量分析；
2.ISO14997-1:2017：规范光学元件缺陷的干涉成像评价流程；
3.GB/T24633.2-2020：基于白光干涉的薄膜厚度测量标准；
4.ISO10110-5:2017：光学元件表面不规则度干涉测试方法；
5.GB/T18833-2016：道路逆反射材料的干涉法折射率测定。

检测设备

1.ZygoVerifireMST：四英寸口径激光干涉仪（波长632.8nm），RMS重复性0.1nm；
2.BrukerContourGT-X3：白光干涉三维轮廓仪（垂直分辨率0.01nm）；
3.FilmetricsF20-UV：宽光谱膜厚测量系统（190-1700nm）；
4.TaylorHobsonCCIHD：非接触式表面轮廓仪（横向分辨率0.5μm）；
5.NikonNEXIVVMZ-S3020：激光共聚焦显微镜（最大放大倍率5000X）；
6.Keysight5500AFM：原子力显微镜（Z轴分辨率0.1nm）；
7.OlympusLEXTOLS5000：3D激光显微镜（12nmZ轴分辨率）；
8.VeecoNT9100：动态干涉仪（支持300mm晶圆全自动扫描）；
9.MitutoyoMF-U1000A：超精密轮廓仪（最大行程1000mm）；
10.HoribaSmart-SEP：椭偏仪（膜厚测量范围1nm-100μm）。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质