掺杂氧化物扩散检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1. 掺杂元素浓度梯度分析：测量范围0.1ppm-10wt%，深度分辨率≤5nm

2. 氧化物层厚度测定：精度±0.5μm（1-100μm范围）

3. 扩散系数计算：温度范围300-1300℃，误差±5%

4. 界面结合强度测试：载荷范围0.1-50N，位移分辨率0.01μm

5. 晶格畸变率测定：XRD半高宽法（FWHM≤0.1°）

检测范围

1. 半导体材料：硅基/砷化镓掺杂氧化物薄膜

2. 高温涂层材料：YSZ热障涂层/铝化物扩散障层

3. 固体氧化物燃料电池：LSM/YSZ复合阴极材料

4. 光学镀膜材料：TiO₂/SiO₂多层干涉膜系

5. 核用包壳材料：锆合金氧化层/MAX相涂层

检测方法

1. ASTM F121-80(2020)：二次离子质谱法测定掺杂浓度分布

2. ISO 14606:2015：辉光放电光谱深度剖析技术规范

3. GB/T 17473.5-2008：薄膜厚度X射线反射法测量规程

4. ISO 21222:2020：原子探针层析技术操作规范

5. GB/T 38715-2020：高温氧化试验中扩散系数计算方法

检测设备

1. Thermo Scientific ARL QUANT'X EDXRF：能量色散X射线荧光光谱仪（元素定量分析）

2. CAMECA IMS 7f-Auto：磁式二次离子质谱仪（深度分辨率1nm）

3. Bruker D8 ADVANCE XRD：高分辨X射线衍射仪（晶格参数测定）

4. ZEISS Crossbeam 550 FIB-SEM：聚焦离子束扫描电镜（三维重构）

5. HORIBA GD-Profiler 2：射频辉光放电光谱仪（深度剖析速率10μm/min）

6. Cameva LEAP 5000 XR：原子探针断层扫描仪（三维原子尺度分析）

7. Netzsch STA 449 F3 Jupiter：同步热分析仪（高温扩散动力学研究）

8. Park NX-Hivac AFM：高真空原子力显微镜（表面形貌表征）

9. Oxford Instruments Symmetry EBSD：电子背散射衍射系统（晶界扩散分析）

10. Rigaku Ultima IV XRD：薄膜专用衍射仪（掠入射模式GID测量）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质