高分辨率成像下的微观结构检测考试

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

形貌分析：

• 表面粗糙度：Ra值（≤0.1μm，参照ISO4287）
• 晶粒轮廓：边界清晰度（分辨率≥1nm）、形状因子（0.7-1.0）

• 晶粒尺寸：平均粒径（10-50μm）、分布均匀性（标准差≤5%）
• 孔隙尺寸：直径（0.1-10μm）、面积占比（≤0.5%）

• 裂纹分析：长度（<10μm）、深度（≤5μm）
• 夹杂物评级：尺寸（≤2μm）、密度（≤100个/mm²，参照ASTME45）

• 元素分布：浓度偏差（±0.01wt%）、相界面成分（EDSmapping）
• 合金偏析：区域差异（≤5%）

• 相比例：体积分数（±2%）、相界清晰度（分辨率≥2nm）
• 相尺寸：平均直径（0.5-20μm）

• 晶界角度：偏差（±2°）、密度（晶界/μm²）
• 晶界能：计算值（0.1-1.0J/m²）

• Ra参数：≤0.05μm（ISO4288）
• Rz参数：≤0.3μm

• 开孔率：≤0.2%（参照ASTMD792）
• 闭孔率：≤0.1%

• 微裂纹密度：≤5条/mm²
• 裂纹扩展速率：≤10⁻⁶mm/cycle

• 维氏硬度：HV0.01（50-1000，参照ISO6507）
• 纳米压痕：模量（50-500GPa）

检测范围

1.金属合金：涵盖铝合金、钛合金等，重点检测晶粒细化均匀性及热影响区缺陷

2.陶瓷材料：包括氧化铝、碳化硅，侧重微裂纹分布及晶界强度分析

3.聚合物复合材料：如环氧树脂基体，关注纤维-基体界面结合及孔隙率控制

4.半导体材料：硅晶圆及化合物半导体，检测位错密度及表面平整度

5.生物材料：羟基磷灰石涂层等，重点评估孔隙结构及细胞相容性相关形貌

6.纳米材料：碳纳米管及量子点，侧重粒径分布及团聚现象分析

7.涂层材料：PVD/CVD涂层，检测厚度均匀性（±0.1μm）及界面结合强度

8.地质样品：岩石及矿物薄片，关注微裂缝网络及矿物相分布

9.电子元件：PCB及芯片封装，检测焊点完整性及金属间化合物形成

10.薄膜材料：光学薄膜及功能涂层，侧重厚度精度（±1nm）及表面缺陷密度

检测方法

国际标准：

• ASTME112-13金属平均晶粒度测定方法
• ISO25178-2:2022表面形貌测量标准
• ASTME45-18夹杂物含量测定方法
• ISO6507-1:2018维氏硬度试验

• GB/T6394-2017金属平均晶粒度测定方法
• GB/T1031-2009表面粗糙度参数及其数值
• GB/T4334-2020金属腐蚀试验方法
• GB/T4340.1-2009金属维氏硬度试验

检测设备

1.扫描电子显微镜：HitachiSU8000（分辨率1nm，加速电压0.5-30kV）

2.透射电子显微镜：JEOLJEM-2100F（分辨率0.1nm，放大倍数50-1,500,000×）

3.原子力显微镜：BrukerDimensionIcon（扫描范围100μm×100μm，分辨率0.2nm）

4.共聚焦激光显微镜：OlympusLEXTOLS5000（横向分辨率120nm，纵向分辨率10nm）

5.X射线衍射仪：RigakuSmartLab（角度范围0-160°，精度±0.0001°）

6.能谱仪：OxfordInstrumentsX-MaxN（元素检测限0.01wt%，能量分辨率125eV）

7.纳米压痕仪：KeysightG200（载荷范围1μN-500mN，位移分辨率0.01nm）

8.光学显微镜：ZeissAxioImagerM2m（放大倍数50-1000×，NA0.9）

9.聚焦离子束系统：ThermoScientificHeliosG4（束流范围1pA-65nA，分辨率5nm）

10.拉曼光谱仪：RenishawinVia（光谱范围200-4000cm⁻¹，分辨率1cm⁻¹）

11.白光干涉仪：ZygoNewView9000（垂直分辨率0.1nm，扫描速度10mm/s）

12.电子背散射衍射仪：EDAXHikari（角度分辨率0.5°，扫描步长0.1μm）

13.热场发射扫描电镜：FEINovaNanoSEM450（分辨率0.8nm，束流稳定性±0.5%）

14.三维表面轮廓仪：SensofarSneox（垂直范围10mm，精度±0.1%）

15.高分辨率X射线显微镜：ZeissXradia620Versa（空间分辨率0.7μm，能量范围20-160kV）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质