工业气体纯度色谱分析

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

主要成分分析：

• 氧气纯度：纯度≥99.5%（参照ISO 6142）
• 氮气纯度：纯度≥99.999%（参照GB/T 8979）

• 露点温度：露点≤-70°C（参照ASTM E1064）
• 水分含量：浓度≤0.0001%（参照ISO 8573-4）

• 甲烷含量：浓度≤0.001%（参照ISO 6975）
• 乙烷含量：浓度≤0.0005%（参照ASTM D7833）

• 二氧化碳含量：浓度≤0.001%（参照ASTM D7649）
• 硫化氢含量：浓度≤0.0001%（参照ISO 6326）

• 氩气纯度：纯度≥99.99%（参照GB/T 4842）
• 氦气纯度：纯度≥99.999%（参照ASTM F307）

• 氢气纯度：纯度≥99.99%（参照ISO 14687）
• 可燃气体浓度：浓度≤0.1%（参照EN 60079-20-1）

• 悬浮颗粒尺寸：尺寸≤0.1μm（参照ISO 8573-1）
• 颗粒浓度：数量≤1000个/m³

• 长期浓度变化：变化率≤0.1%/年（参照GB/T 38523）
• 短期漂移：漂移值≤0.05%（参照ISO 6143）

• 标气成分偏差：偏差±0.5%（参照ISO 6143）
• 混合物均匀性：均匀度≥99%

• 金属杂质含量：浓度≤0.001ppb（参照SEMI C3.061）
• 硅烷纯度：纯度≥99.9999%（参照SEMI C3.041）

检测范围

1. 高纯氧气：应用于半导体制造工艺，检测重点为水分残留和碳氢化合物杂质，确保纯度≥99.999%

2. 医用氧气：用于呼吸治疗设备，侧重检测细菌滋生风险、水分含量和一氧化碳杂质，符合医疗安全标准

3. 工业氮气：涵盖金属热处理过程，重点检测氧气杂质浓度和颗粒物含量，防止氧化反应

4. 焊接保护气体：如氩气混合物，检测氧气和氮气杂质，确保焊接质量稳定

5. 激光切割气体：包括氮气与氧气混合气，侧重纯度和颗粒物分析，优化切割精度

6. 食品级二氧化碳：用于碳酸饮料，检测硫化物和烃类杂质，保障食品安全

7. 特种气体混合物：如校准用气体，检测成分准确性和长期稳定性，满足精密仪器需求

8. 氢气燃料：用于燃料电池系统，重点检测一氧化碳和硫杂质，防止催化剂中毒

9. 惰性气体包装：如氦气密封气体，检测泄漏率和纯度，延长产品保质期

10. 电子工业气体：包括硅烷和氨气，侧重金属杂质和颗粒物分析，支持芯片制造

检测方法

国际标准：

• ISO 6142 Gas analysis - Preparation of calibration gas mixtures - Gravimetric method
• ISO 6974 Natural gas - Determination of composition by gas chromatography
• ASTM E1064 JianCe Test Method for Water in Organic Liquids by Coulometric Karl Fischer Titration
• ISO 6326 Gas analysis - Determination of sulfur compounds
• ISO 14687 Hydrogen fuel quality specification

• GB/T 8979 Pure nitrogen specifications
• GB/T 4842 Pure argon specifications
• GB/T 38523 Technical specification for stability test of calibration gas mixtures
• GB/T 5832.1 Analytical method for trace water in gases
• GB/T 3634.2 Pure hydrogen specifications

检测设备

1. 气相色谱仪：Agilent 7890B GC System（检测限达0.1ppm，柱温范围-80°C至450°C）

2. 热导检测器：Shimadzu TCD-2010（灵敏度0.1μV/mV，线性范围0.1-100%）

3. 火焰离子化检测器：PerkinElmer FID System（检测限0.01ppm，响应时间<1s）

4. 电子捕获检测器：Thermo Scientific ECD（检测限0.001ppb，动态范围10^6）

5. 质谱检测器：Agilent 5977B MSD（质量范围1-1050u，分辨率0.1u）

6. 水分分析仪：Michell Instruments QMA601（露点范围-80°C至+20°C，精度±0.1°C）

7. 气体采样阀：Valco Instruments VICI Valve（耐压1000psi，死体积<0.1μL）

8. 数据采集系统：National Instruments LabVIEW（采样率100Hz，兼容多种接口）

9. 校准气体发生器：KIN-TEK Trace Source（精度±1%，流量范围0-1000sccm）

10. 颗粒计数器：PMS LAS-3000（粒径检测0.1-10μm，计数精度±5%）

11. 气体纯化器：SAES PureGas Generator（输出纯度99.9999%，处理能力10L/min）

12. 流量控制器：Brooks SLA5850（流量范围0-1000sccm，稳定性±0.5%）

13. 温度控制箱：Watlow EZ-ZONE RM（温度稳定性±0.1°C，范围-40°C至150°C）

14. 压力调节器：Swagelok KHB Series（输出压力0-6000psi，泄露率<10^-9 mbar·L/s）

15. 自动进样器：Agilent G4513A（样品容量150位，进样精度±0.1μL）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质