扫描电镜(SEM)微结构分析

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

表面形貌分析：

• 表面粗糙度：Ra值（≤0.1μm，参照ISO4287）
• 颗粒尺寸分布：D50值、粒径标准差（≤5%）
• 裂纹长度：检测下限100nm（参照ASTME112）

• 元素组成：原子百分比（检测限≤0.1wt%）
• 元素分布映射：空间分辨率≤1.0nm
• 合金偏差分析：元素含量偏差±0.05wt%

• 晶粒尺寸：平均粒径（范围0.5-500μm）
• 晶体取向：EBSD角度分辨率≤0.5°（参照ISO24173）
• 晶界类型：晶界角度误差±1°

• 孔隙率：孔径分布（孔径范围10nm-100μm）
• 裂纹密度：单位面积缺陷数（精度±5%）
• 夹杂物评级：尺寸≥500nm（参照ASTME45）

• 涂层厚度：测量精度±10nm
• 界面结合强度：结合力≥10MPa
• 薄膜均匀性：厚度偏差≤5%

• 纳米颗粒形貌：粒径测量精度±2nm
• 纳米线直径：范围5-200nm（标准差≤3%）
• 表面粗糙度：Sa值≤2nm

• 细胞形态：分辨率≤5nm
• 组织三维结构：重建精度≥95%
• 矿化程度：钙磷比误差±0.1

• 腐蚀产物成分：元素识别限≤0.5wt%
• 磨损表面形貌：磨损深度范围10nm-1mm
• 腐蚀坑密度：单位面积计数（精度±3%）

• 纤维直径：平均直径（范围100nm-100μm）
• 界面结合状态：结合强度≥20MPa（参照ISO527）
• 增强相分布：体积分数精度±2%

• 矿物微结构：晶粒尺寸≥1μm
• 元素面分布：扫描步长≤100nm
• 孔隙连通性：连通率测量误差±3%

检测范围

1.金属合金：包括铝合金、钛合金等铁基和非铁基材料，重点检测晶界偏析、疲劳裂纹和热处理后组织演变。

2.陶瓷材料：涵盖氧化铝、碳化硅等高性能陶瓷，侧重晶粒生长、气孔分布和烧结缺陷分析。

3.聚合物材料：如聚乙烯、聚碳酸酯等塑料，关注表面形貌、分子取向和降解机制评估。

4.半导体材料：硅晶圆、砷化镓等电子器件，检测表面缺陷、掺杂均匀性和界面污染。

5.复合材料：碳纤维增强聚合物等结构材料，分析纤维分布、界面结合和损伤演化。

6.生物材料：骨骼、牙齿等硬组织，观测细胞结构、矿化程度和组织再生机制。

7.纳米材料：纳米颗粒、纳米管等功能材料，表征尺寸分布、表面形貌和团聚效应。

8.涂层材料：热障涂层、防腐涂层等表面工程，评估厚度均匀性、缺陷密度和服役寿命。

9.地质样品：矿物、岩石等地学标本，分析微结构、元素成分和孔隙网络。

10.失效分析样品：断口、磨损表面等失效部件，识别裂纹起源、扩展路径和失效模式。

检测方法

国际标准：

• ISO16700:2015扫描电子显微镜操作规范（分辨率校准要求≤1.0nm）
• ASTME1558-08扫描电镜图像分析指南（元素映射精度标准）
• ISO24173:2009电子背散射衍射测试方法（晶体取向角误差≤0.5°）

• GB/T16594-2008扫描电子显微镜测试方法（样品制备规范更严格）
• GB/T23413-2009纳米级长度测量扫描电镜法（测量范围扩展至1nm）
• GB/T18876.2-2020扫描电镜能谱分析方法（元素检测限要求≤0.2wt%）

检测设备

1.场发射扫描电镜：FEIQuanta650型（分辨率0.8nm，加速电压0.5-30kV）

2.能谱仪：OxfordInstrumentsX-Max80型（元素检测限0.1wt%，能量分辨率122eV）

3.电子背散射衍射系统：EDAXHikariEBSD型（角度分辨率0.1°，扫描速度300点/秒）

4.聚焦离子束系统：TescanGAIA3型（离子束电流1pA-100nA，加工精度±5nm）

5.样品制备设备：LeicaEMACE600型（溅射镀膜厚度控制±5nm，真空度10-5Torr）

6.低温样品台：OxfordInstrumentsCT5000型（温度范围-196°C至100°C，控温精度±0.1°C）

7.环境扫描电镜：FEIXL30ESEM型（气压范围10-2600Pa，湿度控制±1%）

8.纳米操作仪：KleindiekMM3A型（定位精度1nm，力传感范围0.1-100nN）

9.三维重构软件：AvizoFire系统（重构精度99%，图像层厚10nm）

10.图像分析软件：ImageJwithSEM插件（测量误差≤1%，兼容多种格式）

11.高分辨率探测器：GatanMonoCL4型（光谱分辨率0.1nm，波段范围300-900nm）

12.真空系统：EdwardsTurboPump型（真空度10-7Torr，抽速500L/s）

13.电子枪：Schottky场发射源型（亮度>1000nA/sr，寿命>2000小时）

14.样品台：5轴电动样品台型（移动精度±1μm，行程范围100mm）

15.能谱校准标准：Micro-AnalysisConsultantsMAS-1型（多元素校准，均匀性误差±0.5%）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质