高纯度四氯化硅检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

纯度检测：

• 总纯度水平：≥99.9999%（参照ISO17025）
• 主成分含量：四氯化硅占比测定（精度±0.0001%）
• 杂质总和：≤0.0001wt%（GB/T3038-2022）

• 铁含量：≤0.1ppb（ASTMD1976）
• 铝含量：≤0.05ppb（ISO11885）
• 铜含量：≤0.2ppb（参照SEMIC10）

• 硼含量：≤0.3ppb（GB/T3049-2023）
• 磷含量：≤0.4ppb（ASTMD4327）
• 碳残留：≤1.0ppm（参照SEMIC3）

• 水含量：≤5ppm（卡尔费休法，GB/T6283）
• 游离酸度：pH值≥6.5（ISO1843）
• 水解稳定性：水解率≤0.01%/h（参照SEMIF20）

• 颗粒尺寸：≤0.1μm颗粒数（ASTMF51）
• 颗粒浓度：≤100个/mL（ISO21501）
• 不溶物残留：≤0.001wt%（GB/T3045）

• 沸点测定：57.6°C±0.5°C（ASTMD1078）
• 密度检测：1.483g/cm³±0.005g/cm³（ISO3675）
• 折射率：1.412±0.002（GB/T614）

• 氧化稳定性：氧化产物≤0.1ppm（参照SEMIC15）
• 热分解率：分解温度≥200°C（ISO11357）
• 反应活性：与硅烷反应偏差≤0.5%（GB/T601）

• 紫外吸收：220nm吸光度≤0.05（ISO7887）
• 红外光谱峰值：Si-Cl键特征峰（ASTME168）
• 荧光背景：≤10RU（参照SEMIF40）

• 有机溶剂残留：≤0.5ppm（GB/T9722）
• 卤代烃含量：≤0.2ppm（ISO13900）
• 挥发性有机物：TVOC≤1.0mg/m³（ASTMD3960）

• 重金属总量：≤0.5ppb（EPA6010）
• 放射性核素：U/Th≤0.01Bq/kg（GB18871）
• 持久性有机物：PCBs≤0.05ppb（ISO6468）

检测范围

1.半导体级四氯化硅：用于集成电路制造，检测重点在超低金属杂质（Fe、Cu≤0.1ppb）和水分控制（≤5ppm），确保无颗粒污染。

2.光纤级四氯化硅：应用于光纤预制棒生产，侧重羟基含量（OH⁻≤0.1ppm）和紫外吸收率，避免光信号衰减。

3.太阳能级四氯化硅：用于光伏硅片沉积，检测硼/磷杂质（≤0.3ppb）和碳残留，优化光电转换效率。

4.高纯试剂级四氯化硅：作为实验室标准品，重点分析总纯度（≥99.9999%）和批次一致性，减少实验误差。

5.电子级四氯化硅：适用微电子封装，检测颗粒物浓度（≤100个/mL）和卤素残留，保障器件可靠性。

6.工业级四氯化硅：用于化工合成，检测非金属杂质（B/P≤1.0ppm）和密度偏差，满足基础纯度要求。

7.研究级四氯化硅：面向新材料开发，侧重光谱特性（红外峰位置）和热稳定性，支持创新应用。

8.定制纯化级四氯化硅：根据客户规格，检测特定元素（如As≤0.05ppb）和物理参数，实现定制化控制。

9.回收再利用级四氯化硅：源于废料再生，重点筛查环境污染物（重金属≤0.5ppb）和溶剂残留，确保循环利用安全。

10.纳米材料合成用四氯化硅：用于纳米硅制备，检测颗粒尺寸分布（≤0.1μm）和反应活性，优化纳米结构性能。

检测方法

国际标准：

• ASTMD1976-18电感耦合等离子体质谱法测定金属杂质
• ISO11885:2022水质-电感耦合等离子体发射光谱法测定元素
• SEMIC10-0709电子级液体中痕量金属测试指南
• ISO17025:2017检测实验室能力通用要求
• ASTMD4327-17阴离子色谱法测定水中溶解阴离子

• GB/T3049-2023化学试剂杂质测定通则
• GB/T3038-2022高纯化学品中杂质含量的测定
• GB/T6283-2023化工产品水分测定通用方法
• GB18871-2022放射性核素限量标准
• GB/T614-2024化学试剂折射率测定法

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：Agilent7900型（检测限≤0.01ppt，质量范围5-260amu）

2.气相色谱-质谱联用仪：ThermoFisherISQ7000型（分辨率≥60,000，扫描速度10Hz）

3.卡尔费休水分测定仪：Metrohm917型（精度±0.1μg，滴定范围0-100%）

4.激光粒子计数器：ParticleMetricsLS-1000型（粒径范围0.05-10μm，计数精度±3%）

5.紫外-可见分光光度计：ShimadzuUV-2700型（波长范围190-900nm，带宽0.1nm）

6.傅里叶变换红外光谱仪：PerkinElmerSpectrum3型（分辨率0.4cm⁻¹，扫描速度10次/秒）

7.原子吸收光谱仪：VarianAA240FS型（检测限≤0.1ppb，石墨炉温度≥3000°C）

8.密度计：AntonPaarDMA4500型（精度±0.0001g/cm³，温度控制±0.01°C）

9.沸点测定仪：KoehlerK93400型（测量范围-10°C至400°C，精度±0.1°C）

10.离子色谱仪：DionexICS-6000型（分离柱效率≥50,000plates/m，电导检测限≤0.1ppb）

11.热重分析仪：NETZSCHTG209F3型（温度范围RT-1000°C，灵敏度0.1μg）

12.荧光光谱仪：HoribaFluoroMax-4型（激发波长200-900nm，检出限≤0.001RU）

13.pH/电导率仪：MettlerToledoSevenExcellence型（pH精度±0.01，电导率范围0-2000mS/cm）

14.自动滴定仪：HannaHI901型（滴定体积精度±0.001mL，终点判断误差≤0.1%）

15.X射线荧光光谱仪：RigakuZSXPrimusIV型（元素范围Be-U，检测限≤1ppm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质