光刻胶检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

化学成分检测：

• 有机溶剂残留量：≤0.5%（参照SEMI P1）
• 金属离子浓度：Na+≤1ppb, K+≤1ppb（参照JIS K5600）

• 粘度测量：25°C时值20-50cP（参照ASTM D2196）
• 表面张力：达因/cm范围38-42（参照ISO 304）

• 折射率指数：1.40-1.60（参照ISO 489）
• 紫外吸收光谱：波长365nm吸收率≥95%（参照ASTM E308）

• 曝光灵敏度：阈值能量≤50mJ/cm²（参照SEMI P7）
• 分辨率测试：线宽分辨率≤0.2μm（参照ISO 12233）

• 玻璃化转变温度：Tg≥120°C（参照ASTM D3418）
• 热分解温度：≥250°C（参照ISO 11358）

• 膜厚均匀性：偏差≤±5%（参照SEMI P10）
• 附着强度：≥5MPa（参照ASTM D3359）

• 乙酸乙酯含量：≤100ppm（参照GB/T 9722）
• 丙酮残留：检测限0.01ppm（参照ISO 16000）

• 储存寿命试验：30天稳定性变化≤3%（参照JIS K7230）
• 光老化测试：UV照射后性能衰减≤10%（参照ASTM G154）

• 粒子计数：≥0.5μm粒子数≤100/mL（参照SEMI P25）
• 水分含量：≤0.1%（参照ISO 760）

• 湿度影响测试：相对湿度95%下变化率≤5%（参照IEC 60068）
• 温度循环性能：-40°C至85°C循环无失效（参照JEDEC JESD22）

检测范围

1. 正性光刻胶：适用于UV光刻工艺，检测重点包括感光灵敏度和分辨率控制

2. 负性光刻胶：用于深紫外曝光，侧重化学成分纯度和热稳定性评估

3. 厚膜光刻胶：膜厚≥10μm，优先检测粘度均匀性和机械强度

4. 薄膜光刻胶：膜厚≤1μm，核心检测项目为光学特性和表面缺陷

5. i-line光刻胶：针对365nm波长，重点评估紫外吸收率和感光阈值

6. g-line光刻胶：用于436nm曝光，检测范围包括热分解温度和环境适应性

7. 化学放大光刻胶：涉及PAG组分，检测重点为残留溶剂和分辨率性能

8. 电子束光刻胶：适用于高精度制程，侧重膜厚均匀性和粒子计数

9. 纳米压印光刻胶：用于图案转移，检测范围覆盖附着强度和存储寿命

10. 生物相容光刻胶：应用于生物芯片，核心检测项目包括化学成分安全性和热稳定性

检测方法

国际标准：

• SEMI P1-2020 光刻胶溶剂残留测试（采用气相色谱法）
• ISO 12233-2017 光刻胶分辨率评估（基于成像分析法）
• ASTM D2196-2021 粘度测定标准流变仪法（旋转粘度计应用）
• JESD22-A104D 温度循环测试（循环次数标准100次）
• IEC 60068-2-78 湿度稳定性试验（恒定湿热条件）

• GB/T 9722-2006 溶剂残留气相色谱法（检测限差异：GB为0.1ppm vs SEMI 0.01ppm）
• GB/T 1731-2020 膜厚均匀性测试（接触式测量 vs ISO非接触式）
• GB/T 1843-2008 机械强度拉伸试验（加载速率差异：GB 5mm/min vs ASTM 10mm/min）
• GB/T 2423.1-2008 环境适应性试验（温湿度范围 GB -25°C~85°C vs IEC -40°C~85°C）
• GB/T 2918-2018 水分含量测定（卡尔费休法参数差异：GB使用甲醇溶剂 vs ISO使用乙醇）

检测设备

1. 气相色谱仪： Agilent 8890型（检测限0.01ppm，分辨率≤0.1nm）

2. 紫外分光光度计： Shimadzu UV-2600型（波长范围190-900nm，精度±0.5nm）

3. 旋转粘度计： Brookfield DV2T型（测量范围1-106cP，温度控制±0.1°C）

4. 膜厚测量仪： KLA Tencor P-16型（非接触式，精度±0.1nm）

5. 热分析仪： Netzsch STA449F3型（温度范围-150°C~1600°C，灵敏度0.1μg）

6. 粒度分析仪： Malvern Mastersizer3000型（粒径范围0.01-3500μm，重现性≤1%）

7. 万能材料試驗机： Instron 5967型（载荷0.5N-30kN，应变速率0.001-500mm/min）

8. 光学显微镜： Olympus BX53型（放大倍数50-1000X，分辨率0.2μm）

9. 环境试验箱： ESPEC PL-3KPH型（温控范围-70°C~180°C，湿度10-95%）

10. 表面张力仪： Kruss K100型（测量方法悬滴法，精度±0.1mN/m）

11. 电子天平： Mettler Toledo XS205型（称量范围0-220g，精度0.01mg）

12. 离子色谱仪： Thermo Scientific ICS-6000型（检测限0.1ppb，流速0.1-5mL/min）

13. 光谱椭偏仪： J.A. Woollam M-2000型（波长240-1700nm，膜厚精度±0.1nm）

14. 热重分析仪： PerkinElmer STA8000型（升温速率0.1-100°C/min，质量精度0.1μg）

15. 激光共聚焦显微镜： Leica TCS SP8型（Z轴分辨率0.1μm，3D成像能力）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质