400-6350567

氮化镓外延片检测

2025-06-05 关键词:氮化镓外延片测试范围,氮化镓外延片测试机构,氮化镓外延片项目报价 相关:
氮化镓外延片检测

氮化镓外延片检测摘要:氮化镓外延片检测专注于评估晶体结构、电学性能和缺陷特征等核心参数,确保材料质量符合半导体应用要求。专业检测涵盖厚度精度、载流子浓度和表面完整性等关键项目,严格遵循国际和国家标准方法。

参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

外延层厚度:测量精度±1nm(SEMI MF1528)

载流子浓度:范围10¹⁴~10²⁰ cm⁻³(ISO 14707)

电子迁移率:测试条件室温,单位cm²/V·s(GB/T 4937)

位错密度:分辨率10⁴ cm⁻²(ASTM E2090)

表面粗糙度:Ra值测量范围0.1~100nm(ISO 4287)

晶体取向:偏差角精度±0.1°(GB/T 17359)

应力分析:压/张应力测量范围±2GPa(ISO 20341)

成分纯度:杂质检出限0.1ppm(ASTM E1504)

光学带隙:波长误差±0.01eV(ISO 18554)

缺陷密度:暗点计数精度95%(SEMI M73)

层间界面质量:界面粗糙度<0.5nm(GB/T 19619)

掺杂均匀性:变异系数<5%(ISO 14707)

检测范围

蓝宝石基氮化镓外延片

硅基氮化镓功率器件外延片

碳化硅基氮化镓射频外延片

同质氮化镓-on-氮化镓外延片

LED应用氮化镓外延片

HEMT器件氮化镓外延片

激光二极管氮化镓外延片

n型掺杂氮化镓外延片

p型掺杂氮化镓外延片

多层异质结构氮化镓外延片

缓冲层氮化镓外延片

超晶格氮化镓外延片

检测方法

X射线衍射法:晶体结构分析(ASTM E1426)

霍尔效应测试法:载流子参数测量(ISO 14707)

原子力显微术:表面形貌评估(GB/T 19619)

光致发光光谱法:光学性能检测(ISO 18554)

二次离子质谱法:成分深度剖析(ASTM E1504)

扫描电子显微术:微观结构观察(GB/T 17359)

拉曼光谱法:应力分布测定(ISO 20341)

透射电子显微术:位错密度分析(ASTM E2090)

电容-电压测试法:掺杂浓度评估(GB/T 4937)

椭圆偏振光谱法:厚度和光学常数测量(ISO 13468)

光刻图形化检测:图案精度验证(SEMI P35)

热导率测试法:材料散热性能分析(ASTM E1461)

检测设备

X射线衍射仪Model XRD-2024:高分辨率晶体分析(符合ASTM E1426)

霍尔效应测量系统Model HEMS-300:载流子浓度和迁移率测试(范围10¹⁴~10²⁰ cm⁻³)

原子力显微镜Model AFM-Pro:纳米级表面粗糙度成像(分辨率0.1nm)

光致发光光谱仪Model PL-550:光学带隙测量(波长范围300~800nm)

二次离子质谱仪Model SIMS-800:杂质深度剖析(检出限0.1ppm)

扫描电子显微镜Model SEM-Ultra:微观缺陷观察(放大倍数10x~500,000x)

拉曼光谱仪Model Raman-Expert:应力分布检测(光谱范围100~4000cm⁻¹)

透射电子显微镜Model TEM-Adv:位错密度分析(点分辨率0.2nm)

电容-电压测试仪Model CV-Tester:掺杂均匀性评估(频率1kHz~1MHz)

椭圆偏振仪Model Ellips-360:厚度和光学常数测定(角度范围45~90度)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

中析仪器 资质

中析氮化镓外延片检测 - 由于篇幅有限,仅展示部分项目,如需咨询详细检测项目,请咨询在线工程师

相关检测

联系我们

热门检测