二维平面光栅检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

光栅常数测量：检测精度±0.01μm，测量范围10-10000线/mm（ISO 10110-5）

刻线间距均匀性：最大偏差≤0.5μm/m，检测分辨率0.1μm（GB/T 1800-2009）

表面粗糙度：Ra值检测范围0.01-10μm，精度±5%（ASTM E112）

角度偏差：测量角度范围±0.1°，误差控制0.001°（ISO 230-2）

衍射效率：在波长400-700nm下测量，效率偏差±2%（ASTM E903）

透射率/反射率：光谱范围190-2500nm，检测精度0.5%（GB/T 2680）

材料硬度：维氏硬度HV测量，载荷范围0.1-10kg，精度±1%（ISO 6507）

热膨胀系数：温度范围-40°C至+150°C，膨胀率检测精度0.1ppm/K（GB/T 4339）

环境稳定性：湿度测试范围10-90%RH，温度循环-20°C至+85°C（IEC 60068-2）

使用寿命测试：循环次数≥10^6次，疲劳寿命评估（ISO 12107）

线宽误差：检测分辨率0.05μm，最大允许误差±0.2μm（GB/T 13962）

平面度偏差：测量精度0.1μm/m，平面度范围±5μm（ISO 12780）

光学均匀性：折射率变化≤0.0001，检测波长632.8nm（ASTM F1044）

抗刮擦性能：载荷范围1-10N，划痕深度检测精度0.01μm（ISO 1518）

化学耐蚀性：暴露于酸碱溶液，腐蚀率测量精度0.01mg/cm²（GB/T 10125）

检测范围

光学编码器光栅：用于高精度位置反馈系统，材料包括玻璃或石英基板

计量光栅尺：应用于坐标测量机和数控机床，尺寸范围100mm-2000mm

光谱仪衍射光栅：涵盖紫外至红外波段，光栅常数200-2400线/mm

激光干涉仪组件：集成于位移测量系统，基底材料为熔融石英

精密机械零件光栅：用于齿轮和轴承定位，材质包括不锈钢或陶瓷

半导体制造光掩模：光刻工艺用光栅，特征尺寸≤0.1μm

显微镜光栅组件：生物和材料显微镜应用，透射型或反射型设计

光通信器件光栅：如波分复用器，波长范围1260-1620nm

显示技术光栅：用于投影和AR/VR设备，像素密度≥500ppi

航空航天传感器光栅：耐极端环境，温度适应-55°C至+125°C

汽车编码器光栅：发动机和传动系统监测，抗震性能测试

医疗成像光栅：X射线或光学成像设备，生物兼容材料

消费电子产品光栅：如扫描仪和打印机，厚度≤1mm

科研实验光栅：实验室标准具，可定制尺寸和参数

工业自动化光栅：生产线位置检测，防护等级IP65以上

检测方法

激光干涉法：依据ISO 10110-5测量光栅常数和平面度

衍射效率分析法：采用ASTM E903标准评估光栅光学性能

显微成像技术：基于GB/T 1800-2009进行刻线均匀性检测

光谱透射/反射测量：遵循ISO 14707标准测定波长相关特性

环境试验方法：按GB/T 2423系列执行温湿度循环测试

硬度测试法：依据ISO 6507使用维氏硬度计评估材料强度

热膨胀系数测量：按GB/T 4339标准进行温度变化分析

疲劳寿命评估：遵循ISO 12107进行机械循环测试

表面轮廓扫描：基于GB/T 18778.2使用非接触式轮廓仪

电子显微镜检测：依据ASTM E1508分析微观结构

化学暴露测试：按GB/T 10125标准评估耐腐蚀性

角度偏差测量：采用ISO 230-2规范使用自准直仪

线宽误差分析：基于GB/T 13962进行高分辨率成像

光学均匀性检测：遵循ASTM F1044使用干涉仪

抗刮擦性能测试：按ISO 1518标准执行划痕实验

检测设备

Zygo GPI-XP/D干涉仪：用于表面形貌和平面度测量，垂直分辨率0.1nm

Olympus BX53显微镜：高倍率成像系统，放大倍数50-1000X

Keyence VHX-7000数字显微镜：3D表面分析功能，景深扩展技术

Mitutoyo SJ-411表面粗糙度仪：检测范围Ra 0.01-50μm，精度±2%

Agilent Cary 7000紫外可见近红外光谱仪：波长范围190-2500nm，带宽1nm

Instron 5967万能材料试验机：载荷范围0-50kN，应变测量精度0.5%

Bruker ContourGT-K光学轮廓仪：非接触式测量，扫描速度10mm/s

Zeiss LSM 900激光扫描显微镜：共聚焦成像，分辨率0.2μm

Shimadzu UV-2600分光光度计：透射率检测，积分球附件支持

Thermo Scientific DSC 3差示扫描量热仪：温度范围-180°C至+700°C，灵敏度0.2μW

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质