等旋干涉纹检测

2025-05-28 关键词：等旋干涉纹测试标准,等旋干涉纹测试范围,等旋干涉纹测试机构相关：

等旋干涉纹检测摘要：检测项目1.条纹间距测量：分辨率≤0.1μm，测量范围5-500μm2.干涉对比度分析：动态范围0-255级灰度值3.相位梯度计算：角度分辨率0.054.表面形变量评估：Z轴精度2nm5.应力分布建模：空间分辨率10μm10μm网格检测范围1.光学玻璃元件：包括非球面透镜、棱镜及激光谐振腔镜片2.金属薄膜涂层：厚度50nm-5μm的真空镀膜层3.高分子复合材料：碳纤维增强聚合物(CFRP)层压结构4.半导体晶圆：直径≤300mm的硅基/砷化镓基片5.精密机械部件：轴承滚道表面及齿轮啮合面检测方法1.AST

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.条纹间距测量：分辨率≤0.1μm，测量范围5-500μm
2.干涉对比度分析：动态范围0-255级灰度值
3.相位梯度计算：角度分辨率0.05
4.表面形变量评估：Z轴精度2nm
5.应力分布建模：空间分辨率10μm10μm网格

检测范围

1.光学玻璃元件：包括非球面透镜、棱镜及激光谐振腔镜片
2.金属薄膜涂层：厚度50nm-5μm的真空镀膜层
3.高分子复合材料：碳纤维增强聚合物(CFRP)层压结构
4.半导体晶圆：直径≤300mm的硅基/砷化镓基片
5.精密机械部件：轴承滚道表面及齿轮啮合面

检测方法

1.ASTME903-20：基于光谱反射率的干涉条纹分析方法
2.ISO10110-8:2020：光学元件表面应力测试规范
3.GB/T34879-2017：微纳米表面形貌激光干涉测量法
4.ISO14978:2018：几何产品规范(GPS)通用测量条件
5.GB/T34370.5-2020：机械振动与冲击信号处理指南

检测设备

1.ZygoVerifireMST：波长632.8nm氦氖激光干涉仪，PV值测量精度λ/100
2.KeyenceLK-G5000：激光共聚焦扫描仪，Z轴重复精度3nm
3.BrukerContourGT-X3：白光干涉三维形貌仪，横向分辨率0.35μm
4.OlympusLEXTOLS5000：激光显微系统，支持ISO25178标准参数集
5.MitutoyoMF-U1000A：超精密轮廓仪，最大行程100mm线性误差0.1μm
6.PolytecMSA-600：微系统分析仪，振动测量带宽DC-25MHz
7.TaylorHobsonCCIHD：相干扫描干涉仪，垂直分辨率0.01nm
8.NikonNEXIVVM-300：