直线坐标检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.定位精度：测量实际位移与理论值的最大偏差（0.005mm/300mm）
2.重复定位精度：连续五次同向定位的最大离散值（≤0.003mm）
3.直线度误差：运动轨迹在水平/垂直面的偏移量（0.005mm/m）
4.垂直度误差：两轴线间角度偏离90的补偿值（≤3″）
5.反向间隙：换向时驱动系统空行程量（≤0.008mm）

检测范围

1.数控机床导轨与丝杠系统
2.半导体晶圆定位平台
3.三坐标测量机运动轴系
4.工业机器人线性模组
5.光刻机精密位移台

检测方法

1.ISO230-2:2014《机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定》
2.GB/T17421.2-2016《机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度》
3.ASTME2309-05(2015)《激光干涉仪线性测量标准规程》
4.JISB6190-6:2016《工业机器人性能试验方法及第6部分：定位精度》
5.VDI/DGQ3441德国质量保证准则《统计过程控制与机床能力验证》

检测设备

1.RenishawXL-80激光干涉仪：分辨率0.001μm，最大测量长度80m
2.LeicaAT960激光跟踪仪：空间坐标测量精度15μm+6μm/m
3.HEIDENHAINKGM182栅格尺：栅距20μm，系统精度1.5μm/m
4.APIXDLaser六维激光测量系统：同步测量6自由度误差
5.MitutoyoSJ-410轮廓仪：表面粗糙度Ra0.01-10μm量程
6.KEYENCELK-G5000激光位移计：0.02μm分辨率，70kHz采样率
7.SIOSSP-2000激光测距仪：纳米级分辨率真空环境适用
8.FAROVantageS6激光跟踪仪：0.5μm单点精度，40m工作半径
9.OGPSmartScopeFlash500影像测量仪：多传感器复合测量系统
10.WylerZerotronic双频激光干涉仪：环境补偿型高稳定性测量装置

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质