入射平面检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.入射角度偏差：测量实际入射面与理论平面的角度误差（0.05）
2.表面平整度：采用激光干涉法评估平面度（λ/20@632.8nm）
3.反射率均匀性：通过分光光度计测定反射率波动（≤1.5%）
4.边缘直线度：使用影像测量系统量化边缘偏离值（≤3μm/100mm）
5.涂层厚度一致性：白光干涉仪测量镀膜厚度公差（5nm）

检测范围

1.光学玻璃基板：包括熔融石英、BK7等材质制成的棱镜与窗口片
2.金属镀膜材料：铝、银反射镜及ITO导电薄膜
3.半导体晶圆：硅片、砷化镓衬底的表面加工质量
4.高分子薄膜：PET/PC材质的偏振片与滤光膜
5.陶瓷基板：氮化铝/氧化铝封装基板的平面特性

检测方法

1.ASTME430-21：基于标准光源的反射率测试规范
2.ISO10110-5:2015：光学元件面形公差评定准则
3.GB/T1185-2006：光学零件面形偏差检验方法
4.ISO14978:2018：几何量测量设备通用校准规范
5.GB/T1800.2-2020：产品几何技术规范（GPS）基础

检测设备

1.ZygoVerifireHD激光干涉仪：面形精度λ/20，重复性＜0.5nm
2.MitutoyoCMM三坐标测量机：空间精度(0.8+L/600)μm
3.BrukerContourGT白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
4.OceanInsightHR4000光谱仪：波长范围200-1100nm
5.KeyenceVHX-7000数码显微镜：5000倍超景深观测
6.PerkinElmerLambda1050分光光度计：反射率绝对精度0.08%
7.TaylorHobsonFormTalysurf轮廓仪：Ra测量范围0.01-50μm
8.NikonNEXIVVM-500影像测量系统：双远心镜头畸变＜0.03%
9.MalvernPanalyticalMastersizer3000：粒度分析分辨率10nm
10.Agilent5500原子力显微镜：Z轴分辨率0.1nm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质