物镜光阑检测
物镜光阑检测摘要：检测项目1.孔径精度：测量实际孔径与标称值的偏差（0.5μm）2.表面粗糙度：评估加工面Ra值（≤0.05μm）3.同轴度误差：光阑叶片中心偏移量（≤3μm）4.透射波前畸变：干涉法测定λ/10@632.8nm5.机械耐久性：开合循环测试（≥50万次）检测范围1.生物显微镜可变光阑组件2.激光切割机聚焦系统固定光阑3.内窥镜可调式虹膜光阑4.半导体光刻机衍射光阑5.天文望远镜自适应光阑模块检测方法ASTME1951-14光学元件表面形貌激光干涉测量法ISO10110-5:2015光学系统波前畸变测试规范G
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
检测项目
1.孔径精度：测量实际孔径与标称值的偏差（0.5μm）
2.表面粗糙度：评估加工面Ra值（≤0.05μm）
3.同轴度误差：光阑叶片中心偏移量（≤3μm）
4.透射波前畸变：干涉法测定λ/10@632.8nm
5.机械耐久性：开合循环测试（≥50万次）
检测范围
1.生物显微镜可变光阑组件
2.激光切割机聚焦系统固定光阑
3.内窥镜可调式虹膜光阑
4.半导体光刻机衍射光阑
5.天文望远镜自适应光阑模块
检测方法
ASTME1951-14光学元件表面形貌激光干涉测量法
ISO10110-5:2015光学系统波前畸变测试规范
GB/T9247-2018显微镜物镜光阑技术要求与测试方法
ISO14999-4:2015光学元件孔径尺寸计量规程
GB/T2831-2009光学零件表面粗糙度接触式测量法
检测设备
MitutoyoLSM-9000激光扫描测量仪：孔径尺寸非接触测量（分辨率0.1μm）
TaylorHobsonFormTalysurfPGI1240轮廓仪：表面粗糙度三维分析（垂直分辨率0.8nm）
ZygoVerifireMST激光干涉仪：透射波前畸变测试（精度λ/100）
OlympusOLS5000激光共聚焦显微镜：微结构三维形貌重建（横向分辨率120nm）
HexagonGlobalClassic三坐标测量机：机械结构几何量计量（空间精度1.9+L/300μm）
KeyenceVR-5000高速光学应变仪：动态疲劳测试（采样率10000fps）
BrukerContourGT-X8白光干涉仪：纳米级表面缺陷检测（Z轴分辨率0.01nm）
SchneiderKreuznachMTF测量系统：调制传递函数分析（空间频率200lp/mm）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
中析仪器 资质
中析物镜光阑检测 - 由于篇幅有限，仅展示部分项目，如需咨询详细检测项目，请咨询在线工程师
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