等离子体回波检测
等离子体回波检测摘要：检测项目1.电子密度梯度测量：范围110^16~110^20m^-3，分辨率5%2.等离子体温度分布：覆盖300K~10^6K区间，误差≤3%3.磁场强度分析：0.1T~50T量程，精度0.01T4.回波衰减系数：频率范围1GHz~110GHz5.杂质浓度检测：最低检出限0.01ppm（Ar基体）检测范围1.半导体晶圆表面等离子体处理层2.核聚变装置第一壁钨基复合材料3.航天器热防护涂层（SiC/Si3N4体系）4.医疗低温等离子体灭菌设备反应腔5.高功率微波器件放电等离子体区检测方法1.ASTME302
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
检测项目
1.电子密度梯度测量：范围110^16~110^20m^-3，分辨率5%
2.等离子体温度分布：覆盖300K~10^6K区间，误差≤3%
3.磁场强度分析：0.1T~50T量程，精度0.01T
4.回波衰减系数：频率范围1GHz~110GHz
5.杂质浓度检测：最低检出限0.01ppm（Ar基体）
检测范围
1.半导体晶圆表面等离子体处理层
2.核聚变装置第一壁钨基复合材料
3.航天器热防护涂层（SiC/Si3N4体系）
4.医疗低温等离子体灭菌设备反应腔
5.高功率微波器件放电等离子体区
检测方法
1.ASTME3025-18：微波反射法测定等离子体参数
2.ISO21438-3:2011电离层等离子体诊断规范
3.GB/T39271-2020低温等离子体电子密度测试方法
4.IEC62855-2016核聚变装置等离子体诊断系统要求
5.GB/T18989-2021X波段微波干涉测量规程
检测设备
1.KeysightN5227BPNA微波网络分析仪（10MHz~67GHz）
2.TektronixDPO7254C数字示波器（2.5GHz带宽）
3.ImpedansLangmuir探针系统（Orion-3040型）
4.VarianCary7000紫外-可见分光光度计
5.Rohde&SchwarzFSW67信号分析仪（67GHz）
6.AmetekX射线能谱仪（X-SIGHT3D型）
7.Agilent8720ES矢量网络分析仪（20GHz）
8.PrincetonInstrumentsSP-2358单色仪（200-1100nm）
9.NationalInstrumentsPXIe-5668E矢量信号收发仪
10.FlukeTi450红外热像仪（640480分辨率）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
中析仪器 资质
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