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正交畸变检测

2025-05-21 关键词:正交畸变测试范围,正交畸变测试机构,正交畸变测试周期 相关:
正交畸变检测

正交畸变检测摘要:检测项目1.平面度误差:测量范围0.005-0.5mm/m(依据ISO12781)2.正交角度偏差:精度要求≤3"(按GB/T11336)3.平行度误差:允许公差0.01-0.1mm/m(参照ASMEB89.3.4)4.线性位移精度:分辨率达0.1μm(基于ISO230-2)5.热变形补偿:温度控制0.5℃(执行ASTME289)检测范围1.金属结构件:航空铝合金框架/精密机床导轨2.光学元件:投影光刻机反射镜/激光谐振腔基板3.复合材料:碳纤维卫星支架/风电叶片连接法兰4.电子器件:半导体晶圆载具/液

参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.平面度误差:测量范围0.005-0.5mm/m(依据ISO12781)
2.正交角度偏差:精度要求≤3"(按GB/T11336)
3.平行度误差:允许公差0.01-0.1mm/m(参照ASMEB89.3.4)
4.线性位移精度:分辨率达0.1μm(基于ISO230-2)
5.热变形补偿:温度控制0.5℃(执行ASTME289)

检测范围

1.金属结构件:航空铝合金框架/精密机床导轨
2.光学元件:投影光刻机反射镜/激光谐振腔基板
3.复合材料:碳纤维卫星支架/风电叶片连接法兰
4.电子器件:半导体晶圆载具/液晶面板玻璃基板
5.模具工具:注塑模具模板/压铸模导向机构

检测方法

1.激光干涉法:ASTME2035标准规定波长稳定性632.8nm0.01nm
2.坐标测量法:ISO10360-2标准要求空间精度(1.9+3L/1000)μm
3.数字图像相关法:GB/T37286-2019设定采样频率≥50Hz
4.白光干涉术:ISO25178-604规定垂直分辨率0.1nm
5.机械探针法:GB/T11337-2004限定测力范围0.5-1.5N

检测设备

1.三坐标测量机:MitutoyoCRYSTA-ApexS系列(空间精度1.2μm)
2.激光干涉仪:RenishawXL-80(线性测量精度0.5ppm)
3.数字图像应变仪:LaVisionStrainMaster(最高分辨率40963000px)
4.白光轮廓仪:BrukerContourGT-X8(垂直重复性0.01nm)
5.高精度测角仪:TaylorHobsonTalyrond585(角度分辨率0.01")
6.热变形测试系统:Instron8862(温控范围-70℃~300℃)
7.激光跟踪仪:LeicaAT960(最大测量半径160m)
8.光学平台隔振系统:NewportRS4000(固有频率≤1.5Hz)
9.纳米位移台:PIP-563.3CD(定位精度0.03μm)
10.X射线残余应力仪:ProtoiXRD(穿透深度50μm)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

中析仪器 资质

中析正交畸变检测 - 由于篇幅有限,仅展示部分项目,如需咨询详细检测项目,请咨询在线工程师

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