氦氖激光混合气检测摘要:检测项目1.气体纯度分析:氦气(He)纯度≥99.999%,氖气(Ne)纯度≥99.995%;2.混合比例测定:He:Ne体积比(7:1至10:1)误差≤0.5%;3.杂质气体含量:O₂≤5ppm、N₂≤10ppm、H₂O≤3ppm(露点≤-76℃);4.同位素丰度:He/⁴He≤0.0002%、⁰Ne/Ne≥9.8;5.压力稳定性:20℃下压力波动≤0.5kPa/h。检测范围1.医用激光治疗仪专用混合气;2.科研级高精度激光干涉仪载气;3.工业激光切割机工作气体;4.光刻机准分子激光源缓冲气;5.计量标
参考周期:常规试验7-15工作日,加急试验5个工作日。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
1.气体纯度分析:氦气(He)纯度≥99.999%,氖气(Ne)纯度≥99.995%;
2.混合比例测定:He:Ne体积比(7:1至10:1)误差≤0.5%;
3.杂质气体含量:O₂≤5ppm、N₂≤10ppm、H₂O≤3ppm(露点≤-76℃);
4.同位素丰度:He/⁴He≤0.0002%、⁰Ne/Ne≥9.8;
5.压力稳定性:20℃下压力波动≤0.5kPa/h。
1.医用激光治疗仪专用混合气;
2.科研级高精度激光干涉仪载气;
3.工业激光切割机工作气体;
4.光刻机准分子激光源缓冲气;
5.计量标准器具校准用基准气体。
1.ASTMD1945-14:气相色谱法测定永久气体组成;
2.ISO6143:2001:比较法进行气体成分定量分析;
3.GB/T3637-2021:高纯氦中杂质含量的测定;
4.GB/T8981-2008:气体中微量水分的电解法测定;
5.ISO6974-6:2018:扩展组分分析的质谱联用技术。
1.Agilent7890B气相色谱仪:配备TCD检测器,分辨率0.1ppm;
2.INFICONHAPSITEER便携式质谱仪:质量范围1-300amu;
3.MettlerToledoC20露点仪:测量范围-100~+20℃;
4.LGR-ICOS激光光谱仪:同位素比测量精度0.05‰;
5.VarianCP-4900微型气相色谱:分析周期<60秒;
6.AMETEK5100微量氧分析仪:量程0-100ppm;
7.BrukerEM27/SUN傅里叶红外光谱仪:波长范围1.6-15μm;
8.SystechIllinois800系列压力校验仪:精度0.01%FS;
9.PfeifferVacuumQMG220质谱检漏仪:灵敏度110⁻mbarL/s;
10.HoribaVA-3000气体粘度计:温度控制0.01℃。
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
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