悬空金属膜检测
悬空金属膜检测摘要：检测项目1.膜层厚度：测量范围0.1-5000nm，误差≤5nm（台阶仪法）2.附着力等级：划痕法临界载荷≥20N（ASTMC1624）3.表面粗糙度：Ra≤0.8μm（白光干涉仪测量）4.成分纯度：金属元素含量≥99.95%（XPS分析）5.耐腐蚀性：盐雾试验240h无点蚀（ISO9227）检测范围1.磁控溅射制备的不锈钢薄膜2.真空蒸镀铝/铜复合膜层3.PVD法制备的钛合金装饰镀膜4.半导体晶圆铜互连阻挡层5.光学器件银反射膜检测方法1.ASTMB487-20《X射线反射法测薄膜厚度》2.GB/T92
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
检测项目
1.膜层厚度：测量范围0.1-5000nm，误差≤5nm（台阶仪法）
2.附着力等级：划痕法临界载荷≥20N（ASTMC1624）
3.表面粗糙度：Ra≤0.8μm（白光干涉仪测量）
4.成分纯度：金属元素含量≥99.95%（XPS分析）
5.耐腐蚀性：盐雾试验240h无点蚀（ISO9227）
检测范围
1.磁控溅射制备的不锈钢薄膜
2.真空蒸镀铝/铜复合膜层
3.PVD法制备的钛合金装饰镀膜
4.半导体晶圆铜互连阻挡层
5.光学器件银反射膜
检测方法
1.ASTMB487-20《X射线反射法测薄膜厚度》
2.GB/T9286-2021《划格法测定漆膜附着力》
3.ISO14703:2023《扫描电镜表面形貌分析》
4.GB/T16535-202X《四点探针法电阻率测试》
5.ASTMF2129-23《电化学腐蚀测试规程》
检测设备
1.KLATencorP-17台阶仪：分辨率0.1nm
2.BrukerDektakXT轮廓仪：扫描长度200mm
3.ZeissSigma500场发射电镜：分辨率0.8nm@15kV
4.ShimadzuEMAX-7000X射线荧光仪：检出限1ppm
5.CSMRevetest划痕测试仪：最大载荷100N
6.Keysight5500原子力显微镜：Z轴精度0.05nm
7.ThermoScientificK-AlphaXPS：空间分辨率3μm
8.GamryReference600+电化学工作站：电流分辨率10fA
9.BYKGardnermicro-TRI-gloss多角度光泽度计
10.Q-LabQ-FOGCRH盐雾试验箱：温控1℃
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
中析仪器 资质
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