光学长度检测
光学长度检测摘要：检测项目1.线性尺寸测量：分辨率0.1μm~1μm，量程0.5mm~2000mm2.平面度误差检测：精度0.5μm/m3.圆度/圆柱度测量：径向偏差≤0.3μm4.表面粗糙度分析：Ra0.01μm~6.3μm5.螺纹参数测定：中径误差2μm检测范围1.金属精密零件（轴承/齿轮/模具）2.光学元件（透镜/棱镜/滤光片）3.半导体晶圆及封装基板4.高分子材料薄膜（厚度10μm~5mm）5.3D打印成型件（层厚精度5μm）检测方法1.激光干涉法：ISO/TR230-11:20182.白光共焦法：ASTME254
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
检测项目
1.线性尺寸测量：分辨率0.1μm~1μm，量程0.5mm~2000mm
2.平面度误差检测：精度0.5μm/m
3.圆度/圆柱度测量：径向偏差≤0.3μm
4.表面粗糙度分析：Ra0.01μm~6.3μm
5.螺纹参数测定：中径误差2μm
检测范围
1.金属精密零件（轴承/齿轮/模具）
2.光学元件（透镜/棱镜/滤光片）
3.半导体晶圆及封装基板
4.高分子材料薄膜（厚度10μm~5mm）
5.3D打印成型件（层厚精度5μm）
检测方法
1.激光干涉法：ISO/TR230-11:2018
2.白光共焦法：ASTME2544-11a(2021)
3.结构光三维扫描：GB/T26100-2010
4.影像测量法：GB/T24762-2021
5.相位轮廓术：ISO25178-604:2013
检测设备
1.KeyenceLM-9000系列激光位移计：非接触式线扫描（0.05μm）
2.MitutoyoQV-Apex302影像仪：双远心镜头（重复性0.8μm）
3.HexagonGlobalS三坐标机：接触式探针（空间精度1.5+L/300μm）
4.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
5.RenishawXL-80激光干涉系统：线性测量精度0.5ppm
6.OlympusLEXTOLS5000共聚焦显微镜：XY分辨率120nm
7.GOMATOSQ三维扫描仪：蓝光相位测量（单幅精度8μm）
8.TaylorHobsonTalyrond585圆度仪：主轴精度0.025μm
9.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：20X物镜（横向分辨率0.55μm）
10.NikonNEXIVVMZ-S3020视频测量系统：双轴CNC控制（定位精度1μm）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
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