抽气能力检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1. 极限真空度测定：测量系统在稳定状态下达到的最低压力值（1×10⁻⁴ Pa~1×10⁻⁶ Pa）

2. 有效抽气速率测试：记录单位时间内气体排出量（10~5000 L/s）

3. 泄漏率验证：采用氦质谱法检测系统漏率（≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s）

4. 返油率分析：测量油蒸气返流速率（≤1×10⁻⁶ g/cm²·min）

5. 温升特性试验：监测连续运行8小时泵体温度变化（ΔT≤45℃）

6. 振动噪声评估：按ISO 10816标准测试运行振动值（≤4.5 mm/s）

检测范围

1. 真空包装材料（铝塑复合膜、镀硅PET膜）的透气性验证

2. 半导体制造设备（PECVD腔体、离子注入机）真空系统验收

3. 医疗灭菌设备（环氧乙烷灭菌柜、冻干机）密封性能测试

4. 航空航天部件（推进剂贮箱、热控涂层）出气特性分析

5. 工业真空泵（旋片泵、罗茨泵、分子泵）出厂性能检验

检测方法

ASTM E296-17《Standard Practices for Testing Gas Leaks Using Mass Spectrometer Leak Detector》规范氦检漏流程

ISO 21360-1:2019《Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance》规定抽速测试程序

GB/T 3163-2007《真空技术 术语》定义基础测试参数

GB/T 32213-2015《真空绝热板有效导热系数的测定》包含特殊材料测试方案

ISO 1608-1:2020《Vapor vacuum pumps - Measurement of performance characteristics》规范蒸汽泵测试条件

检测设备

Edwards STP-A4506涡轮分子泵：极限真空5×10⁻⁸ Pa，抽速450 L/s（N₂）

Agilent IDP-3干式真空泵：无油设计，最大流量3 m³/h

INFICON UL1000 Fab氦质谱检漏仪：灵敏度1×10⁻¹² Pa·m³/s

Leybold CTR 90复合真空计：量程覆盖1×10⁵ Pa~1×10⁻⁹ Pa

MKS 925型微压差传感器：分辨率0.001% FS，量程±1000 Torr

Brooks SLA5850质量流量计：精度±0.5% RD，流量范围0-5000 sccm

Thermo Scientific HAAKE Viscotester iQ：粘度测量模块用于油品分析

Brüel & Kjær 2270型声级计：符合IEC 61672 Class 1噪声测试标准

FLIR T865红外热像仪：-40°C~1500°C温升监测精度±1%

National Instruments PXIe-4499动态信号采集系统：同步采集振动与压力数据

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质