低温泵浦检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1. 极限真空度测试：测量泵体在-196℃工况下的残余压力值（≤1×10^-7 Pa）

2. 漏率检测：氦质谱法测定系统泄漏率（≤1×10^-9 mbar·L/s）

3. 抽气速率验证：采用动态流量法测试氮气抽速（50-2000 L/s）

4. 冷头降温特性：记录液氮制冷系统达到工作温度的时间曲线（≤45min）

5. 再生周期测试：评估吸附剂饱和后的再生效率（脱附率≥98%）

检测范围

1. 半导体制造用分子泵组低温捕集器

2. 同步辐射装置二级冷阱系统

3. 航天材料热真空试验舱低温泵

4. 超导磁体杜瓦容器配套低温泵

5. 氦气回收系统低温吸附装置

检测方法

ASTM E595-07(2020)：真空材料放气率标准测试规程

ISO 21360-3:2019 真空技术-泵性能测量方法-第3部分：机械增压泵

GB/T 3163-2007 真空技术术语

GB/T 6070-2007 真空技术管路元件通导能力的测定

ISO 1608-1:2020 蒸汽流真空泵性能特性的测定

检测设备

1. Agilent UHV-24 四极质谱仪：用于残余气体分析与微漏检测（分辨率0.5amu）

2. Leybold NAVIROOT 3000 真空计组：覆盖1×10^-9~1000mbar量程测量

3. INFICON ELT3000 氦检漏仪：灵敏度达5×10^-12 mbar·L/s

4. MKS 1179C 气体流量校准器：精度±0.25%的流量标定系统

5. Lake Shore 336 温控仪：支持4通道低温传感器数据采集

6. Pfeiffer HLT 260 涡轮分子泵组：建立测试基准真空环境

7. Keysight 34972A 数据采集器：多通道实时记录压力/温度参数

8. Edwards STP-4503 检漏专用氦喷枪：定向泄漏定位装置

9. Varian HS-6 电离规管：超高真空段压力监测单元

10. Bronkhorst EL-FLOW Prestige 气体质量流量计：精度±0.5%RD+0.1%FS

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质