淀积薄膜检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.厚度测量：采用台阶仪（0.1nm-100μm）和椭偏仪（1nm-10μm）进行纳米级精度测定

2.附着力测试：划痕法（临界载荷1-50N）和压痕法（维氏硬度HV0.01-HV0.5）评估膜基结合强度

3.表面粗糙度：原子力显微镜（AFM）扫描分析Ra值（0.1nm-10μm范围）

4.成分分析：X射线光电子能谱（XPS）检测元素含量（检出限0.1at%）

5.光学性能：分光光度计测量透射率（200-2500nm波段）和反射率（5-70入射角）

检测范围

1.半导体材料：硅基氮化硅/氧化铝介电薄膜（厚度50-500nm）

2.光学镀膜：TiO₂/SiO₂多层增透膜（层数5-30层）

3.光伏薄膜：CIGS/CZTS太阳能吸收层（厚度1-3μm）

4.装饰涂层：PVD制备的TiN/ZrN硬质镀层（厚度2-10μm）

5.防护涂层：DLC类金刚石耐磨薄膜（sp键含量30-80%）

检测方法

1.ASTMB924-20金属涂层附着力划痕试验标准

2.ISO14703:2016薄膜厚度测量的校准程序规范

3.GB/T16535-2008电子薄膜表面粗糙度AFM测试方法

4.ASTMF1526-21椭偏法测定透明薄膜光学常数标准

5.GB/T17359-2022X射线能谱定量分析方法通则

6.ISO21283:2018硬质涂层压痕硬度测试规程

检测设备

1.FilmetricsF50型光谱椭偏仪：非接触式薄膜厚度测量系统（精度0.1nm）

2.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪：物相分析与残余应力测试（2θ范围5-160）

3.KLATencorP17台阶仪：表面形貌与台阶高度测量（垂直分辨率0.1nm）

4.ShimadzuISF-S划痕试验机：动态载荷附着力测试系统（最大载荷50N）

5.ThermoScientificK-AlphaXPS：表面化学成分分析仪（空间分辨率3μm）

6.AgilentCary7000分光光度计：全波段光学性能测试平台（波长精度0.08nm）

7.ZEISSSigma500场发射电镜：薄膜截面微观结构表征（分辨率0.8nm@15kV）

8.Keysight5500原子力显微镜：三维表面形貌分析系统（Z轴分辨率0.05nm）

9.CSMInstrumentsNanoindenterG200：纳米压痕力学性能测试仪（载荷分辨率50nN）

10.RigakuZSXPrimusIVXRF：薄膜元素成分快速分析仪（检出限ppm级）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质