解理台阶检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.台阶高度测量：分辨率0.1nm~10μm，测量范围0.5nm~200μm

2.台阶密度统计：单位面积内台阶数量（个/mm）

3.分布均匀性分析：基于分形维数（D=1.0~2.0）和空间自相关函数

4.界面角度测定：精度0.1，测量范围0~180

5.微区成分分析：EDS能谱分辨率≤129eV，元素检测范围B-U

检测范围

1.金属合金：钛合金TC4/TA15、铝合金7075/2024的疲劳断口

2.单晶硅片：<100>/<111>晶向解理面

3.陶瓷材料：Al₂O₃/ZrO₂烧结体断裂面

4.半导体器件：GaAs/InP芯片裂片断面

5.复合材料：C/C-SiC刹车片分层界面

检测方法

1.ASTME3-11金属材料金相样品制备标准

2.ISO14606:2015表面化学分析-扫描探针显微镜数据报告规范

3.GB/T3505-2009产品几何技术规范表面结构轮廓法术语定义

4.GB/T23414-2009微束分析扫描电子显微术术语

5.ISO25178-2:2022产品几何量技术规范表面结构区域法

检测设备

1.蔡司Sigma500场发射扫描电镜：分辨率0.8nm@15kV，配备BrukereFlashHREBSD系统

2.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：Z轴分辨率0.05nm，最大扫描范围90μm90μm

3.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：405nm激光光源，垂直分辨率1nm

4.OxfordInstrumentsSymmetryEBSD探测器：采集速度4000点/秒，角度分辨率0.1

5.ThermoScientificPrismaEDS能谱仪：30mm硅漂移探测器，元素检出限0.1wt%

6.AliconaInfiniteFocusG5光学3D测量仪：垂直分辨率10nm，最大放大率500

7.HitachiRegulus8230冷场发射电镜：加速电压0.5-30kV，束流稳定性≤0.4%/h

8.ParkSystemsNX20原子力显微镜：非接触模式分辨率0.1nm，最大扫描范围100μm100μm

9.LeicaDCM8共聚焦显微镜：白光干涉模式垂直重复性1nm

10.JEOLJSM-7900FSchottky场发射电镜：低电压分辨率1nm@1kV

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质