光学准直检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.直线度误差：测量轴线偏离理论直线的最大偏差值（0.5μm/m至2.0μm/m）

2.平行度偏差：双光路系统光轴间夹角（≤3μrad）

3.同轴度误差：多组件中心轴偏移量（轴向≤0.01mm/径向≤0.005mm）

4.光束发散角：激光束半角宽度（0.1mrad-5mrad）

5.反射面平整度：表面波前畸变（PV值≤λ/10@632.8nm）

检测范围

1.光学仪器：望远镜物镜组、显微镜载物台导轨

2.机械部件：数控机床主轴导轨、三坐标测量机运动机构

3.半导体设备：光刻机硅片台定位系统、晶圆传输机械臂

4.激光系统：光纤耦合器对准组件、谐振腔反射镜支架

5.航空航天：卫星载荷安装基板、惯性导航平台框架

检测方法

ASTME1774-12：采用激光干涉法测量直线运动系统定位精度

ISO10360-7:2011坐标测量机轴向对准误差评定规程

GB/T17421.2-2016机床检验通则第2部分：数控轴线性运动定位精度

GB/T13962-2009光学经纬仪检定规程中的视准轴误差检测条款

ISO10110-5:2015光学元件表面形状公差测试方法

检测设备

1.ZYGOVerifireMST激光干涉仪（波长632.8nm,分辨率0.1nm）

2.TaylorHobsonTalyvel4电子水平仪（量程500μm/m,精度0.5μm/m）

3.RenishawXL-80激光跟踪仪（最大测距80m,角度分辨率0.01arcsec）

4.TriopticsOptiCentric双光路自准直仪（测量范围1000",精度0.1"）

5.Keysight5530动态校准仪（线性测量精度0.2ppm）

6.HamarLaserL-743多光束准直系统（同时测量6轴偏差）

7.NikonNivoC系列全站仪（角度测量精度1",测距精度1mm+1ppm）

8.MitutoyoMF-U系列测微准直望远镜（放大倍率30X,视场角130'）

9.FlukeTiX580红外热像仪（用于温度梯度对光路影响的补偿分析）

10.OphirSpiriconSP928光束质量分析仪（CCD尺寸12.7mm10.2mm,像素10241280）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质