干涉仪检测
干涉仪检测摘要：干涉仪检测是一种基于光波干涉原理的高精度测量技术，广泛应用于光学元件、精密加工及表面质量分析领域。其核心在于通过相位差分析实现纳米级形貌测量，主要检测参数包括面形误差、曲率半径和平行度等。需严格遵循ASTM、ISO及GB/T标准规范操作流程。
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
检测项目
1.面形误差检测：PV值≤λ/10（λ=632.8nm），RMS≤λ/50
2.曲率半径测量：范围5m至500mm，精度0.05%
3.平行度测试：分辨率0.1arcsec（角秒级）
4.表面粗糙度分析：Ra≤0.5nm（白光干涉模式）
5.厚度均匀性评估：测量精度0.1μm@25mm口径
检测范围
1.光学玻璃：包括透镜、棱镜、窗口片等成像元件
2.晶体材料：铌酸锂、蓝宝石等单晶/多晶材料基片
3.金属表面：精密机械零件平面度与粗糙度
4.聚合物薄膜：厚度50μm-5mm的PET/PC膜层
5.半导体晶圆：硅片翘曲度与纳米级表面缺陷
检测方法
1.ASTME284-17：标准表面粗糙度术语定义
2.ISO10110-5:2015：光学元件面形公差规范
3.GB/T10988-2009：光学系统偏心测试方法
4.ISO14997:2018：光学表面缺陷检测标准
5.GB/T13323-2009：光学零件面形偏差测试通则
检测设备
1.ZygoVerifireMST：大口径（Φ600mm）菲索干涉仪
2.TaylorHobsonTalysurfCCILite：白光干涉三维轮廓仪
3.4DTechnologyPhaseCam6000：动态干涉测量系统
4.BrukerContourGT-X3：显微干涉三维形貌仪
5.TriopticsOptiSphericIFR：球面/非球面综合测试平台
6.Keysight5500A：激光平面干涉仪（双频激光源）
7.MitutoyoMF-U1000H：超精密平面度测量仪
8.FisbaμPhase2D：微型光纤干涉系统
9.NikonNEXIVVMZ-S6560：视频测量干涉显微镜
10.OptofluxF20A：在线式薄膜厚度监测仪
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
中析仪器 资质
中析干涉仪检测 - 由于篇幅有限，仅展示部分项目，如需咨询详细检测项目，请咨询在线工程师
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