隔膜真空计检测

2025-05-12 关键词：隔膜真空计测试范围,隔膜真空计测试案例,隔膜真空计测试周期相关：

隔膜真空计检测摘要：隔膜真空计检测是评估真空测量设备性能的关键流程，涉及密封性、精度及稳定性等核心指标。本文依据ASTM、ISO及GB/T标准体系，系统阐述检测项目、方法及设备选型要点，重点解析真空度范围（10⁻⁴~10³ Pa）、零点漂移（≤±0.5%FS/24h）等关键技术参数，适用于半导体制造、真空镀膜等工业场景的质量控制需求。

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参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.真空度测量范围：10⁻⁴~10Pa线性度验证
2.零点漂移量：≤0.5%FS/24h（满量程）
3.响应时间：≤500ms（90%阶跃响应）
4.温度稳定性：0.2%FS/℃（-20~60℃环境）
5.长期重复性：≤1%FS（连续工作1000小时）
6.过载恢复能力：150%量程压力冲击后精度保持

检测范围

1.金属密封型隔膜真空计（316L不锈钢腔体）
2.陶瓷传感器式真空计（Al₂O₃基体）
3.MEMS微结构真空计（硅基薄膜传感器）
4.高温型真空计（最高450℃工作环境）
5.防爆型真空计（ExiaIICT4认证）
6.多通道阵列式真空测量系统

检测方法

1.ASTME2971-22《静态膨胀法真空标准装置校准规程》
2.ISO3567:2021《真空计与标准漏孔比对法》
3.GB/T3163-2020《热传导真空计校准规范》
4.GB/T34874-2017《电容薄膜真空计检定规程》
5.ISO1607-2:2020《分压测量系统的动态测试法》
6.JJG692-2010《电容薄膜真空计检定规程》

检测设备

1.INFICONCDG025D：量程0.1~1000Torr，精度0.15%读数
2.MKS925C系列：10⁻⁴~1000Torr全量程自动校准系统
3.EdwardsActiveGaugeTIC200：分子泵组动态测试平台
4.LeyboldDIVAC0.1：10⁻⁶~1100mbar标准参考传感器
5.AgilentUHV-24P：超高真空校准室（极限压力510⁻⁸Pa）
6.PfeifferVacuumTPG262：双通道全量程测试仪
7.VarianHV-4B：四极质谱联用检漏系统
8.CanonAnelvaMRG-1000：磁悬浮转子规比对装置
9.KurtJ.LeskerPDR2000：数字式压力控制器（0.01%~100%FS调节）
10.ShimadzuGCMS-QP2020NX：残余气体分析系统