六氟化钨检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1. 纯度分析：WF₆体积分数≥99.995%（GC-MS法）

2. 水分含量：H₂O≤5ppm（卡尔费休库仑法）

3. 金属杂质：Fe≤0.5ppm、Ni≤0.3ppm（ICP-MS法）

4. 气体杂质：O₂≤10ppm、N₂≤15ppm（气相色谱法）

5. 酸度值：HF残留量≤20ppm（离子色谱法）

检测范围

1. 电子级WF₆气体（半导体晶圆蚀刻原料）

2. 特种气体储罐（316L不锈钢容器密封性验证）

3. 金属表面处理液（铝/钼合金蚀刻剂成分分析）

4. CVD工艺尾气（化学气相沉积反应副产物监测）

5. 工业废气处理系统（洗涤塔排放气体合规性检测）

检测方法

1. ASTM E260-2019《气相色谱法测定六氟化物纯度》

2. ISO 21484:2017《质谱法测定金属卤化物中痕量元素》

3. GB/T 5832.2-2016《电子工业用气体中水分的测定》

4. IEC 61207-6:2018《气体传感器性能评价规范》

5. GB 18883-2022《工作场所空气有毒物质测定》

检测设备

1. Agilent 7890B气相色谱仪（配备FID/TCD双检测器）

2. Metrohm 899 Coulometer库仑法水分测定仪

3. Thermo iCAP RQ ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪

4. INFICON HAPSITE ER便携式质谱气体分析仪

5. MKS MultiGas™ 2030 FTIR傅里叶红外光谱系统

6. Dräger X-am® 8000多参数气体检测仪

7. Shimadzu GCMS-QP2020 NX气质联用仪

8. HORIBA VA-5000在线气体分析系统

9. AMETEK 5100E氧分析仪（极限灵敏度0.1ppm）<10.PANametrics XGM868超声波气体泄漏探测器

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质