辉光放电检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.放电电压稳定性：测量范围0.5-5kV，波动率≤1%

2.等离子体电流密度：典型值0.5-20mA/cm

3.溅射速率校准：精度0.1nm/s（参照NIST标准样品）

4.元素深度分辨率：优于5nm（Fe/Cr多层膜标样）

5.背景等效浓度：BEC≤10ppm（基体Fe中C元素）

检测范围

1.金属材料：航空航天合金镀层（Ni/Cr/Al）成分梯度分析

2.半导体材料：GaN/Al₂O₃异质结界面元素扩散研究

3.光伏组件：CIGS薄膜太阳能电池层厚测量（Cu/In/Ga/Se）

4.硬质涂层：TiN/TiAlN刀具涂层结合强度评估

5.考古文物：青铜器表面腐蚀产物分层结构解析

检测方法

1.ASTME1259:2021《辉光放电光谱法测定金属薄膜成分》

2.ISO14707:2020《辉光放电发射光谱法表面分析通则》

3.GB/T22368-2022《钢铁材料表面处理层辉光放电光谱分析方法》

4.DINEN10315:2006《高频辉光放电光谱法测定镀锌层厚度》

5.JISH8507:2019《金属覆盖层辉光放电剥离速率测定方法》

检测设备

1.GDS-850A辉光放电光谱仪（日本岛津）：配备RF源（13.56MHz），可测元素范围Li-U

2.GD-Profiler2（美国HORIBA）：深度分辨率达2nm，最大溅射深度500μm

3.SpectrumaGDA750HP（德国）：高功率脉冲模式（1000W），支持磁性材料分析

4.LECOGDS500A（美国）：集成CCD探测器，波长范围165-670nm

5.SPECTRUMAGDA650（奥地利）：双等离子体源设计，支持同时发射/吸收模式

6.RigakuGD-AnalyzerPro（日本）：配备3D映射功能，空间分辨率50μm

7.ThermoScientificGDS-X3（美国）：集成四级杆质谱接口（可选配）

8.BrukerGDS-QMS500（德国）：联用质谱系统检出限达ppb级

9.AMETEKGDS-880（美国）：全自动样品台支持Φ10-150mm试样

10.PHI5000VersaProbeIII（日本）：兼容XPS联用技术实现深度剖析

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质