法布里珀罗特谐振器检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.反射面反射率：波长范围400-1600nm，反射率≥99.8%（@1550nm）

2.自由光谱范围（FSR）：测量精度0.01GHz（1-100GHz频段）

3.精细度（Finesse）：计算值F>100（基于半高宽与FSR比值）

4.透射谱半高宽（FWHM）：分辨率≤0.05nm（C波段测试）

5.腔长稳定性：温度循环-40℃~85℃，漂移量≤0.1nm

检测范围

1.光学薄膜涂层谐振器：多层介质膜/金属膜复合结构

2.半导体材料谐振腔：GaAs/InP基微纳加工器件

3.光纤型FPI：光纤布拉格光栅（FBG）集成器件

4.MEMS可调谐谐振器：静电/热驱动式微镜系统

5.高温超导薄膜谐振器：YBa2Cu3O7-x薄膜器件

检测方法

1.ISO13142:2015《光学与光子学-激光器与激光相关设备-法布里珀罗干涉仪测试方法》

2.ASTME903-12《使用积分球法测定材料太阳吸收比的标准试验方法》

3.GB/T26332.3-2022《光学薄膜元件环境试验方法第3部分：湿热试验》

4.ISO10110-5:2015《光学和光子学-光学元件制图要求第5部分:表面形状公差》

5.GB/T13747.22-2019《激光器和激光相关设备标准第22部分：激光谐振腔测试方法》

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm,PV值测量精度λ/200

2.KeysightN5227BPNA微波网络分析仪：频率范围10MHz-67GHz,动态范围123dB

3.BrukerContourElite扫描电子显微镜：分辨率1nm@15kV,腔体形貌分析

4.AgilentCary7000紫外可见近红外分光光度计：波长范围175-3300nm,带宽0.05nm

5.Newport1918-R光功率计/能量计：波长范围200-1800nm,功率测量精度0.25%

6.ThorlabsSA210-5B扫描FP干涉仪：自由光谱范围1-10GHz,精细度≥200

7.EspecPL-3KPH温度冲击试验箱：温变速率15℃/min,温度范围-70℃~180℃

8.MitutoyoCrysta-ApexS1166坐标测量机：空间分辨率0.01μm,三维尺寸测量

9.HoribaLabRAMHREvolution显微拉曼光谱仪：空间分辨率<1μm,应力分布测试

10.VeecoDektakXT台阶仪：垂直分辨率0.1,膜厚均匀性分析

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质