氮化钽检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.化学成分分析：测定Ta/N摩尔比（范围0.95-1.05）、杂质元素含量（O≤0.8%、C≤0.3%）

2.晶体结构表征：XRD分析立方相纯度（半峰宽≤0.15°）、晶格常数（4.33-4.38Å）

3.表面形貌检测：SEM观测表面粗糙度Ra≤50nm、涂层厚度偏差±5%

4.力学性能测试：纳米压痕硬度≥20GPa、抗弯强度≥450MPa

5.热学性能评估：热导率（25℃下2-5W/m·K）、热膨胀系数（6.5-7.5×10⁻⁶/K）

检测范围

1.氮化钽涂层：应用于切削刀具、航空发动机叶片表面改性层

2.薄膜材料：半导体器件扩散阻挡层（厚度50-200nm）

3.陶瓷基复合材料：高温结构件增强相（体积分数15-40%）

4.溅射靶材：纯度≥99.95%的物理气相沉积用靶材

5.高温合金添加剂：粉末粒径D50=10-45μm的合金原料

检测方法

1.ASTME1479-16：电感耦合等离子体发射光谱法测定金属元素含量

2.ISO20283:2017：X射线衍射法定量分析立方相与六方相比例

3.GB/T35113-2017：扫描电子显微镜法测量涂层截面厚度及界面结合状态

4.ASTMC1327-15：维氏压痕法测定陶瓷材料室温硬度

5.GB/T4339-2008：激光闪射法测量热扩散系数及计算热导率

检测设备

1.RigakuSmartLabX射线衍射仪：配备高温附件，可进行原位晶体结构分析

2.FEINovaNanoSEM450场发射扫描电镜：分辨率达1nm的微观形貌观测系统

3.OxfordInstrumentsX-Max80能谱仪：实现微区成分面分布分析

4.AgilentG200纳米压痕仪：最大载荷500mN的力学性能测试平台

5.NetzschSTA449F3同步热分析仪：支持-150℃~1600℃的热膨胀系数测定

6.PerkinElmerOptima8300ICP-OES：检出限低至ppb级的元素定量分析仪

7.BrukerD8AdvanceXRD系统：配备LYNXEYEXE探测器的快速相组成分析设备

8.Keysight5500原子力显微镜：三维表面粗糙度测量精度±0.1nm

9.LinselsL75高温氧化炉：最高工作温度1600℃的抗氧化性能测试装置

10.ShimadzuAG-XPlus万能试验机：50kN载荷下的抗弯强度测试系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质