多级电离检测
多级电离检测摘要：多级电离检测是一种用于分析材料电离特性及成分分布的关键技术，主要针对半导体、涂层、薄膜等高精度材料的电离效率、能量分布及污染残留等参数进行量化分析。检测需遵循ASTM、ISO及GB/T标准，涵盖离子迁移率、二次电子产率等核心指标，确保数据准确性和重复性。
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
检测项目
电离效率：测量范围0.1-10^6 ions/pulse，误差≤±2%
离子能量分布：能量分辨率≤0.5 eV@500 eV
二次电子产率：阈值能量检测范围1-1000 eV
表面电荷积累：灵敏度0.1 pC/mm²
元素深度剖面：检测深度0.1-10 μm，横向分辨率≤50 nm
检测范围
半导体材料：硅晶圆、GaN外延片
光学涂层：MgF₂防反射膜、ITO导电膜
金属薄膜：铜互连层、铝钝化层
聚合物基材：聚酰亚胺柔性衬底、PDMS微流控芯片
纳米复合材料：碳纳米管增强涂层、石墨烯复合电极
检测方法
ASTM E1127-20 表面电离特性测试规范
ISO 18118:2015 电子能谱定量分析方法
GB/T 19647-2019 半导体材料二次离子质谱检测通则
ISO 15472:2010 X射线光电子能谱仪校准标准
GB/T 30704-2014 电子探针显微分析通用技术条件
检测设备
Thermo Scientific ESCALAB Xi+ XPS系统：表面元素化学态分析，结合能精度±0.1 eV
PHI 5000 VersaProbe III：三维深度剖面分析，最小束斑1 μm
CAMECA IMS 7f-auto SIMS：质量分辨率M/ΔM > 20,000，检出限0.1 ppb
Kratos AXIS Supra：单色化Al Kα光源，能量步长0.025 eV
Shimadzu EPMA-8050G：波长色散谱仪，元素分析范围B~U
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
中析仪器 资质
中析多级电离检测 - 由于篇幅有限，仅展示部分项目，如需咨询详细检测项目，请咨询在线工程师
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