真空箱氦检检测
真空箱氦检检测摘要：真空箱氦检检测是一种高精度泄漏检测技术，主要用于评估密封部件或系统的气密性。其核心是通过氦质谱仪捕捉微量氦气泄漏信号，量化泄漏率并定位缺陷位置。关键检测指标包括泄漏率阈值（通常≤1×10⁻⁹Pa·m³/s）、真空度控制（≤10⁻⁴Pa）及环境温湿度稳定性（±1℃/±5%RH）。适用于航空航天、半导体封装等高要求领域。
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
检测项目
泄漏率测试：阈值范围1×10⁻⁶~1×10⁻¹² Pa·m³/s
密封性验证：保压时间≥30min/压降≤5%
真空度稳定性：波动值≤±5% @10⁻⁴ Pa
氦气残留量：背景浓度≤5×10⁻⁷ mbar·L/s
温度循环测试：-40℃~+150℃交变验证
多通道同步检测：支持≥8通道并行分析
检测范围
航空航天：发动机燃料管路/舱门密封件/航天器热控系统
半导体设备：晶圆传输腔室/刻蚀反应腔/真空机械手
医疗器械：血液透析器/植入式器械封装/高压氧舱
新能源部件：燃料电池双极板/锂电池外壳/储氢罐焊缝
工业阀门：球阀阀座/波纹管密封/超高压截止阀
检测方法
ASTM E493-22：真空箱法氦泄漏标准测试规程
ISO 20486:2017：密封元件最小可检漏率测定方法
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语 泄漏检测
GB/T 34632-2017：真空技术 氦质谱检漏仪校准规范
MIL-STD-750-4：军用电子器件氦密封试验方法
检测设备
氦质谱检漏仪：Leybold PHOENIX L300i（分辨率0.1μg/yr）
真空测试腔体：Cincinnati VACUTEST VX-2000（容积2m³/极限真空5×10⁻⁶ Pa）
多通道采集系统：INFICON HLD5000（16通道/响应时间＜0.1s）
温控系统：Thermotron SM-32C（-70℃~+180℃/变温速率15℃/min）
数据记录仪：Agilent 34972A（6½位分辨率/1000通道扩展）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
中析仪器 资质
中析真空箱氦检检测 - 由于篇幅有限，仅展示部分项目，如需咨询详细检测项目，请咨询在线工程师
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