氦检测
氦检测摘要：氦检测是工业生产和科研领域中关键的气体分析技术，主要用于泄漏定位、纯度验证及密封性评估。其核心检测参数包括氦浓度、分压值及渗透率等，需结合高精度仪器与国际标准方法进行定量分析。本文系统阐述氦检测的技术指标、适用场景及标准化操作流程。
参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。
注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
检测项目
氦泄漏率：测量范围1×10⁻¹²~1×10⁻⁴ Pa·m³/s（标准漏率单位）
氦浓度分析：精度±0.01ppm（0-100%量程）
氦分压测定：分辨率0.1Pa（真空环境适用）
材料渗透系数：测试温度-196℃~300℃（ASTM D1434改进法）
残留氦含量：检出限≤0.5μL/L（气相色谱法）
检测范围
半导体制造用高纯氦气（纯度≥99.999%）
金属焊接件密封腔体（压力容器/管道系统）
真空镀膜设备真空度验证
医用核磁共振冷却系统（超导磁体密封性）
航天器推进剂贮箱（氦质谱背压法检漏）
检测方法
ASTM E493-22《真空系统氦泄漏测试规程》
ISO 20485:2017《非活性气体-氦纯度测定》
GB/T 38523-2020《混合气体中氦含量的测定》
GB/T 34872-2017《真空技术氦质谱检漏方法》
ASME BPVC.V-2019 Article10（压力容器检漏规范）
检测设备
Leybold PHOENIX L300i氦质谱检漏仪：最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s
Agilent 490 Micro GC：配备TCD检测器，氦浓度分析周期＜30s
INFICON HAPSITE ER：便携式残余气体分析仪（0.1-300amu）
Pfeiffer Vacuum ASM 340：全自动检漏系统（集成SNIFFER探头）
SRS RGA200：四极杆残余气体分析仪（1×10⁻¹⁴ Torr灵敏度）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
中析仪器 资质
中析氦检测 - 由于篇幅有限，仅展示部分项目，如需咨询详细检测项目，请咨询在线工程师
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