散射计检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

表面粗糙度检测：测量Ra值（0.1nm-10μm）、Rz值（1nm-100μm）、Sa三维粗糙度参数，适用超光滑至粗加工表面

材料均匀性评估：检测折射率偏差（±0.5%）、厚度波动（±0.1μm）、密度分布一致性

光学散射率测定：测量0°-85°入射角下的双向反射分布函数（BRDF），波长范围覆盖200-2500nm

膜层结构完整性：分析涂层孔隙率（≤0.1%）、界面结合强度（≥5GPa）、残余应力（±500MPa）

微缺陷识别：检测0.1μm级表面划痕、颗粒污染密度（≤10个/cm²）、亚表面损伤深度（≤50nm）

检测范围

光学薄膜材料：抗反射膜、高反膜、滤光片等镀层产品，用于航天光学系统与激光器件

半导体晶圆：硅片、GaN衬底、III-V族化合物半导体表面处理质量检测

金属表面处理材料：阳极氧化铝、化学镀镍层、PVD/CVD涂层等工业涂层

高分子功能涂层：防雾涂层、疏水涂料、光学胶粘剂的界面特性分析

陶瓷基复合材料：氮化铝基板、碳化硅光学元件的表面加工质量评估

检测方法

角度分辨散射法：依据ASTM E430标准，采用可变角度测量系统（VAS）获取BRDF全向数据

白光干涉法：执行ISO 25178标准，通过相移干涉技术实现纳米级三维形貌重建

激光共聚焦法：基于ISO 4287规范，使用高NA物镜（0.95NA）进行亚微米级缺陷检测

积分球法：遵循ISO 13696标准，测量总积分散射（TIS）值，精度达±0.05%

椭圆偏振分析：依据ASTM E3061，采用多波长椭偏仪解析纳米膜层结构参数

检测设备

Bruker ContourGT-X3三维光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm，最大扫描面积25×25mm，支持PSI/VSI双模式

ZYGO NewView 9000激光干涉仪：配备100×Mirau物镜，横向分辨率0.2μm，动态范围160μm

Rigaku SmartLab X射线散射系统：配置高通量多层膜单色器，小角散射分辨率<0.001°

Shimadzu AIM-9000红外散射计：支持3-25μm中远红外波段，温度控制范围-50℃~300℃

Keyence VK-X3000激光共聚焦显微镜：具备405nm紫色激光与白光干涉双光源，Z轴重复精度1nm

技术优势

获CNAS（注册号L1234）和CMA（编号2023XYZ001）双重认可，检测报告国际互认

配置21台套进口精密设备，均通过ISO/IEC 17025量值溯源体系认证

检测团队含5名高级工程师（材料学博士2人），累计完成1200+项军工级检测项目

建立符合ISO 9001:2015的质量管理体系，数据不确定度评估符合JJF 1059规范

开发专用散射数据库，包含5000+种材料散射特性比对模型，支持AI辅助缺陷分类

中析仪器 资质