设备纯度试验

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.洁净度验证：表面颗粒物计数、有机残留物分析、无机污染物筛查。

2.工艺气体纯度分析：高纯氮气杂质检测、反应气体纯度验证、载气中氧与水含量测定。

3.大宗气体污染物检测：颗粒浓度、金属杂质离子、总碳含量分析。

4.高纯化学品纯度检测：酸类试剂金属杂质分析、溶剂中有机物残留、过氧化物含量测定。

5.晶圆表面金属污染检测：表面金属元素全扫描、特定关键金属杂质定量分析。

6.腔体内部残留物分析：等离子体副产物检测、聚合物薄膜成分分析、腐蚀性残留离子测定。

7.超纯水水质监测：溶解离子浓度、总有机碳含量、细菌及内毒素水平、颗粒物粒径与数量。

8.真空系统洁净度评估：分压力谱分析、残余气体成分鉴定、可凝性挥发物检测。

9.密封件及材料放气测试：挥发物总量测定、特定有害气体释放率评估。

10.冷却介质纯度检测：离子洁净度、电导率、颗粒污染度分析。

11.光刻环境分子污染监测：空气中碱金属污染物、酸性气体、可凝结有机物浓度监测。

检测范围

硅晶圆、化学机械抛光垫、光刻胶、显影液、蚀刻液、清洗液、高纯特种气体、真空泵油、密封圈、阀门管件、腔体内部件、静电吸盘、工艺夹具、超纯水、冷却循环水、废气处理装置滤芯、洁净室高效过滤器、厂务供应化学品、晶圆传送盒

检测设备

1.扫描电子显微镜：用于高分辨率观察与测量表面及截面的微观颗粒与污染物形貌；配备能谱仪可进行元素成分定性分析。

2.电感耦合等离子体质谱仪：用于超痕量级金属与非金属元素的定量分析；具备极高的灵敏度与宽动态范围，适用于高纯材料检测。

3.气体色谱质谱联用仪：用于复杂气体或可挥发有机物中各组分的分离、定性与定量分析；可检测工艺气体及腔体残留中的微量有机污染物。

4.总有机碳分析仪：专门用于测定液体样品中的总有机碳含量；通过氧化将有机物转化为二氧化碳进行检测，是超纯水监测的关键设备。

5.残余气体分析仪：用于真空系统内残余气体成分的定性与半定量分析；通过质谱原理实时监测腔体内的分压力与气体组成。

6.激光粒子计数器：用于连续监测洁净环境中悬浮颗粒物的数量与粒径分布；是评估洁净室等级与设备内部洁净度的主要工具。

7.离子色谱仪：用于分离和测定样品中阴离子、阳离子及有机酸的种类与浓度；特别适用于高纯化学品与超纯水中的离子杂质分析。

8.原子力显微镜：用于纳米尺度下样品表面的三维形貌表征；能够测量表面粗糙度并观察极细微的污染物或缺陷。

9.非接触式表面污染检测仪：利用全反射X射线荧光等技术，无需样品前处理即可快速检测晶圆表面痕量金属污染。

10.傅里叶变换红外光谱仪：用于识别与定量分析样品中的有机化合物、高分子材料及某些无机物；可用于材料放气产物与有机残留的鉴定。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器资质